极紫外EUV/软X射线光源

无电极Z-Pinch技术

    各种文献表面Z-Pinch等离子体能有效地产生极紫外光和软X射线，但是到现在为止都是使用电极将高放电电流导入等离子 体中。电极一般都要与高温等离子体接触，可能熔化并产生很多残留碎屑。

     Energetiq独特的技术也是基于Z-Pinch等离子体，但是却完全不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁，能够将热负载消除到并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有卓越的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。

EQ-10HP无电极Z-Pinch 20W EUV光源

    EQ-10HP是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。EQ-10HP EUV光源特别适合计量学和研究应用。EQ-10HP工作的输入功率显著高于之前的型号且亮度也显著提高，使之适合于诸如EUV掩膜检测的成像应用。EQ-10HP光源的模块化设计使之很容易集成到工艺设备中。系统包括无电极Z-Pinch光源组装、真空和气体子系统、功率输出子系统和控制电路。EQ-10HP可以在2π球面度输出高达20W的EUV功率，并以高达2.5kHz的脉冲重复频率连续运行。

性能

1.使用氙气在2π球面度输出20W

2.高达2.5kHz脉冲重频率

3.小等离子体尺寸

4.低残留

5.低成本

6.氙气流速低

7.将消耗成本降至

8.占地面小

可靠性

1.无电极Z-Pinch技术

2.符合CE标志和SEMI S2-0703

应用

1.EUV掩膜检测

2.EUV度量学

3.耐EUV开发

4.EUV显微学

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