极紫外EUV/软X射线光源

无电极Z-Pinch技术

     各种文献表面Z-Pinch等离子体能有效地产生极紫外光和软X射线，但是到现在为止都是使用电极将高放电电流导入等离子体中。电极一般都要与高温等离子体接触，可能熔化并产生很多残留碎屑。

Energetiq独特的技术也是基于Z-Pinch等离子体，但是却完全不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁，能够将热负载消除到并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有卓越的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。

 EQ-10SXR无电极Z-Pinch软X射线光源

      EQ-10SXR是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氮气的无电极Z-Pinch技术。

EQ-10SXR组成包括一个19英寸机架，包括气体亚系统、功率输出系统和控制电路；集成真空泵的无电极Z-Pinch光源组装；和一个高效率脉冲调制器。模块化设计使之很容易集成到显微镜或其它应用设备中。

EQ-10SXR可以在2π球面度输出高达400mW的2.8nm波长功率，并以高达2kHz的脉冲重复频率连续运行。

为了满足不同设备的应用要求，用户可以调节光源的工作条件，用户可以调到功率亮度。在典型工作条件下等离子体尺寸一般小于1mm直径。用户可以通过彩色触摸屏操作，可手动和自动工作。EQ-10SXR很好安装，要求电源、冷水机、净化压缩空气和高纯氮气源。

特点

1、使用氮气产生2-4nm软X射线

2、等离子体直径小于1mm

3、性价比高、结构紧凑

应用

1、水窗显微镜

2、细胞微光束探测

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