双轴MEMS微型反射镜

         这种无万向节的两轴（Tip/Tilt）MEMS扫描反射镜（微型反射镜）是一种光束控制（2D光学扫描）技术，应用在很多工业领域。该反射镜基于ARI-MEMS制造技术，光束扫描速度超快且功耗超低，它在两轴方向上反射激光角度可达32度。相比于大尺寸的振镜光学扫描仪，MEMS反射镜所需的驱动功率要小几个数量级。驱动器即使在全速连续工作时的功率也只有几个微瓦。

MEMS反射镜完全由单晶硅制造，可得到优越的可重复性和可靠性。光学平面反射镜镀有要求反射率的薄膜。较大尺寸的反射镜是粘贴在驱动器上的。库存反射镜的直径范围从0.8mm到4.2mm，对于特殊应用可做到9.0mm。

主要优势

• 倾斜角是模拟量，这是与数字微型反射镜的主要差异，数字型不能用于任意方向上的光束控制。换言之，如果倾斜角要求是6.15o，只需要施加相应的电压就可以了，而且可以维持该角度任意长时间，几乎零功率消耗。

• 点对点扫描，一个电压值对应一个角度值。

• 模块化设计

•    动态模式扫描

典型应用

• 投影展示

• 3D扫描和雷达成像

• 3D追踪和位置测量

• 激光打标和雕刻

• 远程通信

• 自由空间通信

• 生物成像

规格参数

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我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。

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