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立体开启式加热炉
用途:
适用于CVD工艺或其他热处理工艺;如ZNO纳米结构可控生长、氮化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等
特点:
★采用高级耐火纤维材料,隔热好、升温快、蓄热少、节能,炉体表面温度≤60℃
★取放物料方便快捷,只需一支卡箍便可完成密封,简化法兰安装过程,减少了炉管因安装造成损坏的可能
★微电脑控制,可编制升温曲线,自动升温、保温、降温与控制升温速率。具有P.I.D调节自整定、自学习功能
★配置超温、传感器故障等多种逻辑保护功能,安全可靠
★可根据客户需求升级配置计算机监控系统,实现100%仪表功能操作,并以曲线及数据表格形式记录存储实时温度曲线、历史温度曲线及报警记录参数
★炉体开启式结构,炉膛可向后翻转110度,易于取放工作管
★易磨损部位采用硬化技术处理,使炉材经久耐用
★炉管两端装配不锈钢双环密封法兰,保障炉管的气密性、保证真空以及气氛环境
★炉管卡箍式法兰接口,安装、取放物料方便快捷,安全、密封
★可选择真空或气氛保护等试验环境
技术参数:
型号 | VKLG-12 |
电源 | 220 V (50 Hz) |
额定功率 | 2KW |
温度范围 | 室温-1200℃ |
恒温精度 | ≤±1℃ |
热电偶 | K分度 |
加热区 | 300mm |
恒温区 | 150mm |
炉膛尺寸 | Φ40×300mm |
加热元件 | 高温电阻丝 |
*快升温速度 | 30℃/分钟 |
宇电仪表控制 | 可编30段程序控温 |
时间设定 | 0~9999分钟 |
炉膛材质 | 陶瓷纤维 |
炉壳材质 | 冷轧钢板静电喷涂 |
炉管材质 | 石英 |
真空度 | 用机械泵10-2torr 用分子泵10-2torr |
整体外形尺寸 | 380(深)×530(宽)×800(高)mm |