产品展示
等离子体增强型原子层沉积PEALD
点击次数:94发布时间:2020/6/2 15:15:48
更新日期:2020/6/2 15:15:48
所 在 地:
产品型号:PEALD
优质供应
详细内容
等离子体增强型原子层沉积PEALD介绍:
PICOFLOW? 扩散增强器
PICOFLOW?扩散增强器用于提升深沟槽、高深宽比样品的薄膜质量。同样适用于多孔、通孔、柔性样品,粉末及其他复杂纳米结构的样品。该装置兼容所有Picosun? ALD设备。
POCA? and PICOVIBE? 颗粒沉积系统
PIcosun提供工业及研究型粉末沉积解决方案。POCA? 300粉末沉积腔可以加工大批量粉末材料,并可以直接集成到PICOSUN? P-300生产线反应腔内。对于小批量的粉末材料,可以采用POCA? 200粉末沉积腔集成到PICOSUN? R系列的设备上。此部件体积小,可以为高质量的粉末材料研究提供多样化、成本低的解决方案。Picosun PICOVIBE?装置可以使前驱源气体在粉末中的均匀分布,进一步提升粉末中每一个颗粒的薄膜均一性。
可连续沉积的Roll-to-roll 腔室
在印刷电子、OLED包装、薄膜电池、智能纺织材料、有机传感器、可循环或可生物降解包装材料、柔性显示器等研究领域,均要求连续的ALD镀膜工艺。Picosun卷对卷ALD腔室可容纳300mm宽的衬底。并可直接集成到PICOSUN?P-300生产型反应腔室上。我们还提供用于研究的小型卷对卷腔室,可容纳70mm宽的衬底。
客户使用 PICOSUN? ALD 设备在150mm和200mm(6“和8”)Si基片上所沉积薄膜厚度均匀性数据。
材料 | 非均匀性(1σ) |
AI2O3 (batch) | 0.13 % |
SiO2 (batch) | 0.77 % |
TiO2 | 0.28 % |
HfO2 | 0.47 % |
ZnO | 0.94 % |
Ta2O5 | 1.0 % |
TiN | 1.10 % |
CeO2 | 1.52 % |
Pt | 3.41 % |