AC-系列臭氧发生器采用的技术在非常狭小的空间内利用无声电晕放电产生臭氧。它属于陶瓷片臭氧发生器，

基于工业级产能需求，可以产生非常高浓度的臭氧。产生的臭氧浓度可以超过200g/Nm3或14%w/w。它在同级别产品中体积*小，却是市场上产生臭氧浓度的。

AC-系列臭氧发生器在ALD应用这个领域非常有用，因为其产生的臭氧可以作为ALD需要的氧化性前驱体。采用臭氧可以很大程度地降低成本，因为无需运输，存储或者处理所使用的氧化剂。ALD领域使用臭氧的优点如下：

更高产能

更低成本

更精确厚度控制

更好的均匀性

AC-系列臭氧发生器可以安装在19英寸的支架框内，也可安装在凹凸不平墙面上的不锈钢防溅式支架内，此支架是专门为苛刻的工业环境需求所设计。

AC-系列臭氧发生器简便易用，每个发生器均配有内置的控制器，可以让使用者原位操作或远程操作。原位操作模式，使用者通过前面板的旋钮调节发生器功率达到自己所需的臭氧浓度。远程操作模式，使用者可以远程打开与关闭发生器，也可远程调节功率以达到自己所需的浓度。

AC-系列臭氧发生器采用空气冷却，无需水冷。内置的强制空气冷却系统可以高效地把空气循环起来，以达到冷却臭氧发生器及电源。的维护费用就是定期更换空气滤芯组件，这使得本产品在同等级的市场具有的成本效率。

应用:

原子层 沉积（ALD）

表面清洁

光阻去除

有机杂质去除

金属污染去除

杀菌

化学搅拌

水循环

扩大试验研究

其它领域

工业:

存储器

微处理器

商用集成电路

复杂芯片SOC

研究实验室

MEMS

其它应用

特点:

无声电晕放电

需要氧气

空气冷却

防溅不锈钢支架（选项）

紧凑型

低成本