MINI-OZONE系统是一种新的臭氧输送系统，专为需要高浓度臭氧的ALD，TEOS，MOCVD，光阻剥离，表面修整以及其它半导体工艺所设计。此系统体积很小但具有完整的输送系统，包含一个高纯度臭氧发生器， 一个高浓度监测器，一个微处理控制器以及所需的调压阀与气动阀。MINI-OZONE系统就是一个完整的交钥匙工程（turkey solution）。此系统专为*苛刻的高浓度应用需求所设计，浓度可达21%或更高。

MINI-OZONE系统紧凑的框架与轻质的机身加上使用方便快捷，性能优异，使其优于市场上其它的臭氧发生器。

MINI-OZONE系统可以扩展支持更多的臭氧发生器系统，这些发生器独立工作，提供不同浓度，不同流速的臭氧。根据需要，MINI-OZONE系统可以与在湿法工艺中用到的在线原位溶解臭氧分

析仪相连用，也可以用于与基于紫外吸收的多通道臭氧泄漏侦测器和任何一个IN USA的臭氧消除子系统产生互锁。

特点

紧凑型设计

产生臭氧浓度21%w/w

19英寸支架安装或放置于桌面

低成本/无消耗

全方位集成:

高纯臭氧发生器

高浓度臭氧分析仪

闭路循环伺服控制器

氧气 MFC

氮气 MFC

背压力调压阀

电气-气动转向阀

ALD领域的理想配件

选件

臭氧消除器

溶解型臭氧分析仪

臭氧安全监测仪

可扩展的控制多个臭氧发生器系统