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Neocera 脉冲激光沉积系统PLD

点击次数:152发布时间:2020/6/2 15:41:44

Neocera 脉冲激光沉积系统PLD

更新日期:2020/6/2 15:41:44

所 在 地:

产品型号:Pioneer 180 Laser MBEPLD System

简单介绍:Neocera Pioneer 系列 PLD 系统— 基于卓越经验的创新设计Neocera 利用PLD 开展了深入广泛的研究,建立了获得*佳薄膜质量的临界参数,特别适用于沉积复杂氧化物薄膜。这些思考已经应用于Pioneer 系统的设计之中。

优质供应

详细内容

名称:脉冲激光沉积系统
品牌:Neocera
产地:美国
型号:Pioneer 180 Laser MBEPLD System

Neocera Pioneer 系列 PLD 系统— 基于卓越经验的创新设计
Neocera 利用PLD 开展了深入广泛的研究,建立了获得*佳薄膜质量的临界参数,特别适用于沉积复杂氧化物薄膜。
这些思考已经应用于Pioneer 系统的设计之中。
? 很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧压(>100 Torr)下冷却可获得更高的质量。所有Pioneer 系统都具备此功能(压力范围可从额定初始压强到大气压)。这也有益于纳米粒子的生成。
? Pioneer PLD 系统的激光束入射角为45°,保持了激光密度在靶材上的均匀性,同时避免使用复杂而昂贵的光学部件。更大的入射角能够拉长靶材上的激光斑点,导致密度均匀性的损失。
? 为了避免使用昂贵的与氧气兼容的真空泵,消除油的回流对薄膜质量的影响,所有Pioneer 系统的标准配置都采用无油泵系统。
? 我们的研究表明靶和基片的距离是获得*佳薄膜质量的关键参数。Pioneer 系统可以控制靶材和基片的距离,以达到*优的沉积条件。





Pioneer240

Pioneer180

 Pioneer120A


wafer 直径

8

6

2

靶材数量

1” 或2

1” 或2

1” 或2

压力(Torr) *

5*10-8

5*10-9

5*10-9

真空室直径

24

18

12

基片加热器

360°旋转

360°旋转

360°旋转

样品温度

850 

850 

950 

Turbo 泵抽速*
liters/sec

700

软件控制

400

软件控制

260

软件控制

计算机控制

包括

包括

包括

基片旋转

包括

包括

选件

基片预真空室

包括

选件

选件

扫描激光束系统

包括

选件

-

靶预真空室

包括

选件

-

IBAD 离子束辅助沉积

选件

选件

选件

CCS 连续组成扩展

选件

选件

-

高压RHEED

选件

选件

选件

520 liters/sec 

N/A

选件

-

... ...






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  • 工商认证: 【未认证】
  • 最后认证时间:
  • 法人:
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  • 企业类型:个体商户
  • 注册资金:人民币万

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