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美国Neocera 脉冲电子束沉积系统PED
点击次数:137发布时间:2020/6/2 15:42:14
更新日期:2020/6/2 15:42:14
所 在 地:
产品型号:PED-180
优质供应
详细内容
名称:脉冲电子束沉积系统
品牌:Neocera
产地:美国
型号:Pioneer 180 PED System
脉冲电子束沉积(Pulsed Electron Deposition)是高能脉冲(100ns) 电子束( 约1000 A,15 keV) 在靶材上穿透将近1 um,使靶材快速蒸发形成等离子体。对靶材的非平衡提取(烧灼)使等离子体的组成与靶材的化学计量组成一致。在*佳条件下,靶材的化学计量与沉积薄膜的保持一致。所有的固态材料如金属、半导体和绝缘体等都可以用PED 技术沉积各自的薄膜。
? 独立的交钥匙脉冲电子束沉积系统PED
? 外延薄膜沉积,多层异质结构(heterostructures)与超晶格
? 氧化物薄膜沉积时氧气兼容
? 升级选项:离子辅助PED, 连续组份沉积PED, 进样系统load-lock
? 可附加的沉积源:脉冲激光与射频/ 直流溅射
? 集成XPS/ARPES UHV 集群系统,原位高真空基片传送系统
真空腔 | 18" 直径的球形腔体 8"CF 窗口 6.75"CF PED 源窗口 3 个6"CF 窗 额外的2.75" 与1.33"CF 窗口 | PED源 | 电子枪能量:8-20 keV 脉冲能量:能量800 mJ *小能量100 mJ 工艺气体压强: 3-20 mTorr 工艺气体: 氧气,氮气,氩气 脉冲能量变化: ±10% 脉冲宽度: 100 ns 重复率: 10Hz at 15kV,5Hz at 20kV *小束截面: 8 x10-2 cm2 能量密度 :1.3 x 108 W/cm2 Z 向对准范围: 50 mm XY 向对准范伟: +/- 20 mm 火花塞寿命 ~3x107 脉冲 |
基片加热器 | 直径2",*小10x10mm2 温度:850 ℃ 基片旋转:1-30 RPM(360° 旋转) 基片加热器:兼容1 个大气压的氧压 加热器温度通过可编程的PID 控制 | ||
多靶材旋转台 | 6 个1" 的靶材或3 个2" 的靶材 靶材旋转:360° 连续旋转(1-20 RPM) 靶材栅格式扫描 独特的靶材栅格化烧蚀方案 靶材索引,镀多层薄膜 靶材高度可调 靶材挡板避免靶材间的交叉污染 提供连续组成扩展/ 组合PED 的能力 | PED系统软件 | Windows 7, LabVIEW 2013 控制基片加热台 控制靶材公转台 控制真空泵 控制质量流量计? 外部的PED 源触发器 可选的工艺自动化选项 |
真空泵 | 干泵,涡轮分子泵 本底真空压强:标准配置8 x 10-8 Torr 涡轮分子泵转速由软件控制 |
脉冲电子束沉积系统PED沉积的代表性材料示例
? 高温超导(HTS) YBCO( 和GdBCO) 薄膜
? 顺电(Ba-SrTiO3) 薄膜
? 金属氧化物(SrRuO3) 薄膜
? 隔热/ 音玻璃(SiO2) 膜和Al2O3 膜
? 聚四氟乙烯(PTFE) 薄膜