Optical Coating System/光学涂覆系统

NANO-MASTER(那诺-马斯特)NOC-4000光学涂覆系统提供的技术，系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。

产品应用：

• 光学涂层

• 溅射

• IBAD离子束辅助沉积

• 离子束刻蚀清洗

• 离子束辅助反应刻蚀

• 红外涂层

• 表面处理

产品特点：

• RF射频偏压样品台

• 膜厚监测仪

• 极限真空5x10-7Torr

• 高精度及高重复性

• 高品质膜层

• 原子级的洁净表面

• 原子级清洗和抛光

• 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制

• 自动上下载片

• 两个腔体之间自动传送

• 菜单驱动，4级密码访问保护

• 完整的安全联锁

• 占地面积46”D x 44”W

选配项：

• 向下/向上溅射

• 共溅射

• DC，RF以及脉冲电源

• 离子束辅助沉积

• 电子束源

• 等离子源