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1、炉型结构:卧式,单室,炉体炉门采用双层水冷,前开门结构。由炉体、加热室、真空系统、充气系统、水冷系统、电控及供电系统组成。
2、极限温度:1300℃
3、工作区尺寸:400*200*200mm(L*W*H)
4、设备总功率:38 KW(含加热系统、真空机组、制冷机)
5、电源频率:50Hz
6、电源电压:三相380 V(±10V)
7、占地面积:约5 m2 (宽2030*深1515*高1950)
三、加热系统
1、加热区尺寸:600×390mm(L×ø)
2、加热功率:30 KW(实际功率可调)
3、加热元件:钼片
4、隔热组件:钼+不锈钢
5、温度测量:S型热电偶
6、控温精度:±1℃
7、升温速率 MAX:由室温升至1000℃小于90min(空炉)
8、加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用优质99刚玉陶瓷,发热体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量极少。外框使用不锈钢(310S)板材料,并且焊接多道加强筋以保证不变形。
9、加热控制:采用PID智能控温模块设计,可编辑30段升温曲线,存贮20组工艺配方,组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能,10寸液晶触摸屏显示操作,具有操作方便,功能强大,稳定性好等特点。
四、真空系统
1、真空配置: 一台复合分子泵FB-1600和一台旋片机械泵BSV-60
2、极限真空:≤6.67*10-4Pa(空载、冷态、经净化);
3、工作真空:≤6.67*10-3Pa
4、压 升 率:1Pa/h(烘烤后、清洁、空载、冷态下)
5、真空测量: 复合真空计ZDF5227BV01
测量范围1.0*105~1.0*10-5Pa
6、真空机组功率:4 KW
7、优点:效率高、无污染、低能耗、低噪音。
五、气路系统
保护气氛:高纯氩气。充气压力≤10KPa。手动球阀、电磁阀、防爆阀、微调阀、316L不锈钢管路、扩散硅压力传感器、电接点压力表、浮子流量计组成。系统可根据不同温度段充入不同压力的冷却气体,充气压力到达压力上限设定点可自动停止充气,超压时可自动排压,当低于压力下限设定点又可自动补气。带有一路手动,用于高温停水充气保护。
六、水冷系统:
真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位,采用闭式水循环系统,每个电极冷却均配有水流量观察仪,主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上,以备停电时紧急使用。
七、安全系统:
安全系统包括:停水、超温、加热过流、旋片泵、分子泵,设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。