□ 安全保护

整机启动保护：

设备的全部安全条件具备时，整机才能启动运行。

操作保护：

整机电气系统具有逻辑连锁、控制、保护功能。

电机：

有过载、过热、缺相保护等

冷冻系统：

有声光报警，各部件均有控制器

真空压力：

有声光报警

加热系统：

有声光报警

循环系统：

有声光报警

停电、供电：

均有安全保护措施

缺水保护：

有

缺压缩空气保护：

有

故障停电保护：

1、 冷阱与真空泵组之间的阀门自动关闭。

2、 冻干箱与冷阱间的阀门保持开启，以利用冷阱内的真空及低温状态。

3、 全部工艺阀门自动关闭，防止设备发生失控状态。

4、 备有UPS电源，在电源发生故障时，使运行程序中的数据资料能自动、安全存储。

停电后来电保护：

自动控制系统自动进行诊断、比较，并从断点处恢复运行

循环系统：

1、 加热循环保护

2、 加热器失控安全保护

升华过程中的产品保护：

1、 真空度差时切断加热

2、 真空度太好时可进行自动调节。

◆

板层位置防滑落保护：

标准配置（电子式）

★ 自动监测板层位置，如发生板层滑落自动提升

真空泵启动的冷阱保护：

连锁

箱门位置监控装置：

有

真空泵保护：

真空泵停转，泵头阀自动关闭

化霜连锁保护：

1、 溢流阀关闭无法开启化霜进水阀

2、 箱阱阀开启无法开启化霜进水阀

3、 阱泵阀开启无法开启化霜进水阀

□ 整机装备

电源：

3 相380伏

装机总功率：

65 KW    ★ 此为装机功率，并非运行功率。

压缩空气:

0.5 ～ 0.6 MPa

◆

整机结构:

纵置，整机一体式   

整机尺寸 (mm)：

（约）长6700（围板后6400）×宽2000×高3300

 ★ 该尺寸为纵置式，也可依据用户要求进行设计。

整机重量（Kg）：

（约）14000