钨灯丝扫描电子显微镜
SEM3100
SEM3100具有出色的成像质量和丰富的扩展性，将钨灯丝扫描电子显微镜的可用性、易用性发挥到大。分辨率可达3 nm，超大样品仓，可容纳大直径为370mm的样品，以及诸多细节功能设计和特色功能，助您在显微成像的中尽情探索。
高性能高指标
SEM3100是一款高性能的扫描电子显微镜，拥有超高的分辨率和出色的成像质量。放大倍率连续可调，在不同的视场范围下均可得到高亮度的清晰图像。大景深，成像富有立体感。配备的超大样品仓和低电压模式，大地扩展了SEM3100的应用范围。
丰富的扩展性
扫描电子显微镜不只用于表面形貌的观察，还可以进行样品表面的微区成分分析。SEM3100拥有超大的样品仓，接口丰富，除支持常规的二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、能谱仪（EDS）外，也预留了诸多接口，诸如电子背散射衍射（EBSD）、波谱仪（WDS）、阴荧光（CL）等探测器都可以在SEM3100上进行集成。
背散射探测器
二次电子成像和背散射成像对比。背散射像下，样品的荷电效应明显减弱，并且具有很好的成分衬度，适合进行成分观察。
能谱分析
水泥建筑材料SE和EDS分析结果，加速电压15 kV
*微量Au元素为喷金后的镀层
特色功能，更高的效率和更好的性能
光学导航
SEM3100标配的仓内摄像头可拍摄高清样品台照片，助您快速定位样品。
旋钮控制板和鼠标手势
可通过旋钮控制板或鼠标滚轮/手势快速调节聚焦和像散等参数，大地提高成像效率。
动态像散
直观反映像散程度，通过鼠标点击即可快速调节像散至佳。
动态图
结果图
快速调节图像旋转
拖动一条线，图像立刻“摆正角度"。
动态图
结果图
电子光学系统
分辨率 3 nm @ 30 kV
放大倍率 1 x~300,000 x
加速电压 1 kV~30 kV
电子枪类型 预对中型发叉式钨灯丝电子枪
成像系统
探测器（标配） 二次电子探测器 (ETD)
探测器（选配） 背散射电子探测器、能谱仪EDS等
图像尺寸 ≤ 6144 x 4096 像素
图像保存格式 TIFF、JPG、BMP、PNG
样品室
控制方式 全自动阀
涡轮分子泵 240 L/S
机械泵 12 m³/h(50 Hz)
摄像头 光学导航 样品仓内监控
样品室真空度 高真空下优于9 X 10-4 Pa
样品台配置 三轴自动(标配) 五轴自动(选配)
