YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR500/510

高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm 

低温等离子·经典桶型。 

PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR500/510用途 

·去除光刻胶

·部品清洗

·界面活性处理

·微研磨

·硅晶圆，玻璃基板对应 

特征 

·大口径（Φ215mm）石英反应腔

·小型一体化设计

·操作简单的触摸屏方式（PR510型） 

规格