原位SEM力学样品台

●配备高精度5轴驱动样品台和高精度纳米微压头；

●多种加载模式：加载-保载-卸载，循环加载等；

●自动测量载荷-位移曲线并自动保存；

●自动多点、矩阵方式采集载荷-位移曲线；

●自动对多条载荷-位移曲线进行拟合处理；

●可扩展温控模块（RT-1300℃，±0.01℃）、电学模块（pA-mA， 普通模式±10 V，高压模式±200 V）。

原位SEM力学样品台通过使用力学传感器中的静电施以载荷，用微压头将载荷施加到纳米材料上， 同时通过电容记录位移，可以实现如压缩、弯曲、疲劳、纳米压痕和纳米划痕 等测试。根据所得的力-变形（应力-应变）曲线，可以定量确定这些纳米结构 的材料特性。