SEM加热样品台

●采用四电极反馈控制系统对加热区域的样品进行均匀、安全控温；

●超薄氮化硅膜(10 nm，25 nm，50 nm)，不会影响电子信号采集；

●高精度、高频反馈控温模式，具有实时温度控制及测量功能，内置绝对温标， 并可软件自动标定，对任一芯片的每次升温过程进行自动校正和模拟出的升 温曲线，而非统计学的拟合曲线加热，能更好地反映热场实情并可自定义程序升 温曲线，设置升温速度，确保每片芯片每次测量温度的性，不受使用次数的 影响而降低，高温实验的重复性及性；

●观测区域全覆盖；

●升温快、温度场稳定且均匀，升温过程样品几乎无漂移；

●CHIP-NOVA提供的SEM加热样品台固体加热芯片温度范围RT~1300℃，以及的控温技术可满足大多数科学研究的需求。