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955系列 美国派克PARKER超高纯隔膜阀
点击次数:13发布时间:2023/7/6 9:54:15
更新日期:2023/7/6 9:54:15
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产品型号:955系列
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美国派克PARKER超高纯隔膜阀
955系列在过程流体的使用中采用无螺纹及弹簧连接,这种设计能够大限度的减少杂质的生成并且可以使过程减少污染,而这是半导体应用的关键。严格的阀门设计能够控制阀座及膜片的压力,从而提供稳定的免维护的使用寿命。955系列与流体接触的部分由特殊的金属构成具有卓YUE的防腐蚀性及抗漏能力。阀体内部为Vericlean™ 316L不锈钢电抛光材质。Vericlean™ 是派克出色的超高纯级不锈钢材质。膜片是高强度的钴基合金。955系列阀座同时提供PCTFE(聚三氟氯乙烯),PEEK®(聚醚醚酮)和Vespel®(聚酰亚胺树脂)材质,以便可以兼容广范围的过程流体。这些材质组成了955系列严格的设计特征,为955系列提供了卓YUE的抗腐蚀性,在入口压力250 psig时达到更大的使用寿命。
955系列的气动阀被设定成能够用限位开关或接近开关来提供开-关的位置指示。这个设定也应用在多阀体构造中,包括955Y(Y阀)和SM955(表面组装)。
955系列阀的内部(阀座)密封和金属外部密封均采用质谱仪进行氦气泄漏测试,以获得其在高要求的超高纯应用中有出色稳定的表现。
市场需求:
• 半导体
• 分析实验室
• 制药业
• 生物制药业
• 航空航天
• 工业
特点/优势:
• 5微英寸(Ra)电解抛光表面光洁度
• 高使用寿命(包含腐蚀性条件下)
• 内部无弹簧和无螺纹设计,更大限度的减少了杂质的生成和气体的卷入
• 从真空到250 psig适用
• 内部泄漏率:≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 标称AOP驱动压力为75 psig
应用:
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 特气柜
• 阀箱
Vericlean™ 是派克汉尼汾公司的商标
Vespel® 是杜邦公司的注册商标
PEEK™ 是威格斯公司的商标
美国派克PARKER超高纯隔膜阀