科晶大口径管式炉主要特点

炉体结构

设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性）

高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）

该炉可作为退火或扩散炉，大可用于8”晶片放在对应石英舟中

密封法兰

采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr（参考值）

可选购一套温度测试装置（铠装热偶、补偿导线和温度仪表），用于测试炉管内部的温度

左侧水冷法兰：真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头

右侧水冷法兰：kf40真空接口，方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀。（如果您的泵是kf25接口，需要一个kf40-kf25转接头）

温控系统

包含一款YD518P型温度控制器

PID自动控温系统

智能化30段可编程控制

控温精度：±1℃

两个温区分别有两个独立的温控系统控制

默认DB9 PC通信连接端口

通过MET认证

质量认证

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

         2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

科晶大口径管式炉技术参数

高纯石英管尺寸

规格1：

152 OD x 143 ID x 1320mm L

规格2：

152 OD x 143 ID x 1020mm L

规格1：

216 OD x 206 ID x 1320mm L

规格2：

216 OD x 206 ID x 1020mm L

规格1：

279 OD x 269 ID x 1320mm L

规格2：

279 OD x 269 ID x 1020mm L

热偶：K型热偶    

建议升温速率：≤10℃/min

温度：1000℃ （1100℃＜1h）  

电源：AC220，50Hz   大8KW

加热区  规格1：加热区长度：600mm    双温区：300mm+300mm；

规格2：加热区长度：900mm    双温区：450mm+450mm

加热元件:掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

产品规格

规格1：1880 L x 700W x 930 H mm；规格2：2180 L x 700W x 930 H mm；约200 kg

可选配件

石英舟

大可兼容4”直径基片

大可兼容6”直径基片

大可兼容8”直径基片

温控系统：可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

温度校准

定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括

48”L（1/4”OD）K型热电偶校准

一Omega温度校准器

热电偶补偿线

您可以考虑分子泵，真空度可达10-5Torr

真空系统

多种真空系统可选

可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度＜1100℃

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）