布鲁克bruker轮廓仪利用*的直接驱动扫描样品台,将测量时间加快40%,同时保持行业的性能。Vision64是布鲁克的64位并行处理操作和分析软件,能够更快地加载3D形貌文件,并更快地应用筛选器和多区域数据库分析。
单拱门结构设计使布鲁克bruker轮廓仪更坚固,从而将环境噪音的影响降至低。DektakXT升的"智能电子设备"可降低温度变化的影响,并采用现代处理器,大限度地减少噪声水平,使其成为能够测量<10nm台阶高度的更强大的系统。
布鲁克的Vision64软件通过提供直观、简化的用户可视化界面,加入到DektakXT的创新设计。智能架构和可自定义自动化功能相结合,可实现快速数据收集和分析。无论您是使用分析脚本对单个扫描结果进行分析,还是应用自定义筛选器设置和计算,DektakXT的数据分析器都能显示当分析结果,同时显示其他可能的分析工具。
测量部分包括检测器、驱动部、测量台立柱、测量台基座、除振台、架台等。
⑴测量台基架:用来安装需要测量的工件。
⑵测量台柱杆:使探针上下移动。
⑶柱杆手动旋钮:手动使探针上下移动。
⑷测量面板:用于操作测量部分。
⑸驱动部分:将探针沿着测量方向驱动的装置。
⑹驱动方向指示灯:驱动方向侧指示灯亮灯。
⑺驱动部分手动旋钮:用手动方法进行传感器的左右移动。
⑻驱动部分手动旋钮切换开关:按下此开关,便可切换驱动部分的手动旋钮的有效、无效。
⑼检测器:用来获取Z轴形状数据。
⑽探针杆:用来安装探针。
⑾探针:用来探测工件表面。
⑿测量力调整配重:为了调整测量力大小的配重。
⒀测量力微调紧固螺钉:用于调整测量力调整平衡块的平衡螺钉。
操作使用步骤:
①将测量力调整配重的对刻度面与本体针杆的刻度中央位置对齐。
②使平衡块向左右方向移动,将触针悬臂调整至平衡(向移动4小格),在此状态下测量力为零,此时观察Z值接近于零即可,一般不可能达到绝对零。
③向下方向测量时,请将测量力调整配重向左移动一个刻度,测量力将变成10毫牛。
④向上方向测量时,请将测量力调整配重向右移动一个刻度,测量力将变成10毫牛。
注:1.通常的测量以10毫牛的测量力进行。
2.标准针杆和长度不同的针杆,其测量力与刻度都不同
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原创作者:上海非利加实业有限公司