美PVD 脉冲激光沉积（PLD）/大面积PLD/涂层带PLD系统

产品特点

产品参数

产品介绍

美PVD公司为客户提供优质的薄膜沉积设备，特别是大面积脉冲激光沉积(PLD)系统，还包括沉积元件如靶材*纵器和智能视窗等，另外可为客户订制激光分子束外延设备(L-MBE)。 

根据客户的不同需求，提供以下型号： 

1．小面积PLD系统，也就是NANO-PLD型，该系统简单、紧凑，具有多种功能，非*常适合小型的研发实验室。 

2．大面积PLD系统，包括PLD 3000、PLD 5000、PLD 8000三个型号，非*常适合于大的公共机构，政*府实验室和防机构的研发和试制生产。 

3．高温超导带涂层系统，也就是PLD T100型，非*常适合于生产高温超导带和线缆，目已有两套系统卖到日本知名的际超导产业技术研究中*心超导工学研究所（SRL-ISTEC），而且在高温超导线缆中获得了记录电流密度，创高温超导线材创新记录。

 

应用域： 

1) 高温超导研发：合成新的高温超导材料或者微调高温超导材料 2) 高温超导工业研发：高温超导线缆和带沉积，移动通信的微波过滤器，电力分配网的错误电流限制器，超导磁能存储器(SMES)，超导量子干涉磁量仪元素制作，超导电子配件，磁共振成像应用，磁悬浮如火车 3) 铁电材料和设备4) 电-光和光学材料：电镀铬材料，电-光材料如PLZT, BST等 5) 电介材料，如AlN薄膜 6) 硬质薄膜，如TiCxN(1-x) 薄膜 7) 透明导电氧化物(TCO)沉积 8) 测辐射热敏元素生产，用于热跟踪的热探测，热成像，热度量衡等 9) 制备新材料特别是功能陶瓷 10) 制备纳*米粒子 11) 矩阵辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)聚合物薄膜 12) 制备用于MRAMs和录音磁头上GMR的铁磁材料等 

技术参数欢迎索取详细资料 主要特点通用产品：1.系统可根据客户的特殊要求设计，*作简单方便。可使用大尺寸靶材生长大面积薄膜，基底的尺寸直径范围大2.方便更换基底和靶材 3. 手动或计算机控制选定靶材 4. 主腔室预留备用的腔口 5. 系统使用程序化的成像链(Optical Train)，6. 系统使用特有的黑体基底加热设计

 

 

产品参数

通用产品：

 

1.系统可根据客户的特殊要求设计，*作简单方便。可使用大尺寸靶材生长大面积薄膜，基底的尺寸直径范围大

 

2.方便更换基底和靶材 

 

3. 手动或计算机控制选定靶材 

 

4. 主腔室预留备用的腔口

 

5. 系统使用程序化的成像链(Optical Train)，

 

6. 系统使用特有的黑体基底加热设计