PLD激光脉冲沉积系统
产品特点
产品参数
产品介绍
六靶靶台 可公转,自传
温度加热台到1000C
灵活的泵组合
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在线检*测系统(温度,厚度)
配备高能量激光器
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RF射频等离子源(氧,氮)
升高空
增加进样室
升为Laser-MBE (L-MBE)系统
自动软件控制
提供更洁净的薄膜生长环境,完*美的温度控制解决方案.
产品介绍
用于沉积金属薄膜,氧化物薄膜,多元素材料薄膜的脉冲激光沉积系统,可以与
多种薄膜制备设备连用。凭借多年的科研与实践经验,我公司为许多科研用户独立
打造了PLD-MBE连用系统,PLD-UHV Suptter连用系统等。
应用:
ZnO材料功能薄膜
STO薄膜
超导薄膜
铁电功能薄膜
功能陶瓷膜
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