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上海非利加实业有限公司 主营产品:仪器仪表设备,进口国产实验测试分析仪器,检测测量仪器,生命科学环境监测仪器

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INFICON石英晶体膜厚控制仪

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号:XTC/3 原产地:中国大陆 发布时间:2020/12/22 10:33:30更新时间:2024/12/2 11:27:37

产品摘要:INFICON XTC/3 石英晶体膜厚控制仪XTC/3石英晶控仪,实用的单层和多层镀膜速率控制,无论您需要控制产品的合格性,或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完*全适应您的要求。

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详细内容

 
XTC/3INFICON石英晶体膜厚控制仪
INFICON XTC/3 石英晶体膜厚控制仪
产品特点
产品参数
产品介绍
INFICON, 薄膜镀层控制技术的全球先者,现在为您提供高生产价值和低拥有成本的仪器。 
无论您需要控制产品的合格性,或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完*全适应您的要求。
 
产品详细介绍:
 
XTC/3石英晶控仪,实用的单层和多层镀膜速率控制,无论您需要控制产品的合格性,或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完*全适应您的要求。
 
用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1利技术,提供可靠的模式跳跃防止功能,可达到始终如的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪,可高度精*确地控制镀膜速率与膜层厚度,具有能控制几乎任*何膜层数量的能力。容易安装和高的可靠性,可确保高的生产率。
 
有单膜层和多膜层型号:
 
1.ModelLock利技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
 
2.支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和双探头自动晶体切换,用于高生产率
 
3.XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程,999个膜层,32个镀层,2个
 
传感器和两个源
 
4.XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层,2个传感器和两个源
 
5.易阅读的TFT LCD图形显示器
 
6.为便于检索,可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称
 
7.有以太网连接软件
 
8.单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows®软件选件
 
9.INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见(限于XTC/2功能和指令组)
 
 
产品参数
功能,参数,或技术规范
 
XTC/3S单层膜
 
XTC/3M多层膜
 
测量分辨的频率变化
 
+0.05Hz
 
+0.05Hz
 
测量区间
 
0.25
 
0.25
 
厚度和速率分辨/测量
 
0.06A,在工具/密度=100
 
0.06A,在工具/密度=100
 
 
 
基频=6MHz
 
基频=6MHz
 
支持XTAL2转换
 
 
 
计算机通讯
 
RS232标准,以太网TCP/IP选件
 
RS232标准,以太网TCP/IP选件
 
大RS232波特率
 
115.2千波特
 
115.2千波特
 
继电器数
 
12标准, 无事例可指定
 
12标准, 事例可指定
 
可编程继电器功能数
 
1
 
1
 
每个继电器功能
 
1
 
1
 
继电器电压额定值
 
30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
 
30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
 
 
 
42V峰,在2.5安
 
42V峰,在2.5安
 
输入数
 
8TTL, 24伏直流大
 
8TTL, 24伏直流大
 
可编程输入功能数
 
1, 无事例可指定
 
1, 事例指定
 
记入仪输入数
 
1
 
1
 
手动电源/手持控制器
 
 
 
排风扇
 
 
 
测试模式
 
 
 
挡光器延迟
 
 
 
次工具
 
 
 
大允许相移频率
 
1.0 MHz
 
1.0 MHz
 
机箱尺寸
 
1/2机架,2U高度
 
1/2机架,2U高度
 
速率和膜厚显示分辨
 
0.1A, 从0.0至99.9A/;1A/, 从
 
100至999A/
 
0.1A, 从0.0至99.9A/;1A/, 从
 
100至999A/
 
 
 
显示膜厚分辨=1A
 
显示膜厚分辨=1A
 
通过输入选择镀层
 
 
 
用户指导语言
 
英文,中文
 
英文,中文
 
控制环
 
       PID
 
PID
 
数据登录
 
 
 
质量和稳定性功能
 
 
 
样品和保持
 
 
 
坩埚选择
 
 
 
坩埚反馈输入
 
 
 
选择控制电压性
 
是,+/-2.5,5,10伏
 
是,+/-2.5,5,10伏
 
 
 
15-位分辨率
 
15-位分辨率
 
程序锁定码
 
        是
 
        是
 
用户标签过程/镀层
 
        否
 
        是
 
XTC/2 RS232通讯兼容性
 
是(有限的)
 
是(有限的)
 INFICON XTC/3 石英晶体膜厚控制仪
产品特点
产品参数
产品介绍
INFICON, 薄膜镀层控制技术的全球先者,现在为您提供高生产价值和低拥有成本的仪器。 
无论您需要控制产品的合格性,或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完*全适应您的要求。
 
产品详细介绍:
 
XTC/3石英晶控仪,实用的单层和多层镀膜速率控制,无论您需要控制产品的合格性,或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完*全适应您的要求。
 
用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1利技术,提供可靠的模式跳跃防止功能,可达到始终如的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪,可高度精*确地控制镀膜速率与膜层厚度,具有能控制几乎任*何膜层数量的能力。容易安装和高的可靠性,可确保高的生产率。
 
有单膜层和多膜层型号:
 
1.ModelLock利技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
 
2.支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和双探头自动晶体切换,用于高生产率
 
3.XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程,999个膜层,32个镀层,2个
 
传感器和两个源
 
4.XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层,2个传感器和两个源
 
5.易阅读的TFT LCD图形显示器
 
6.为便于检索,可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称
 
7.有以太网连接软件
 
8.单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows®软件选件
 
9.INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见(限于XTC/2功能和指令组)
 
 
产品参数
功能,参数,或技术规范
 
XTC/3S单层膜
 
XTC/3M多层膜
 
测量分辨的频率变化
 
+0.05Hz
 
+0.05Hz
 
测量区间
 
0.25
 
0.25
 
厚度和速率分辨/测量
 
0.06A,在工具/密度=100
 
0.06A,在工具/密度=100
 
 
 
基频=6MHz
 
基频=6MHz
 
支持XTAL2转换
 
 
 
计算机通讯
 
RS232标准,以太网TCP/IP选件
 
RS232标准,以太网TCP/IP选件
 
大RS232波特率
 
115.2千波特
 
115.2千波特
 
继电器数
 
12标准, 无事例可指定
 
12标准, 事例可指定
 
可编程继电器功能数
 
1
 
1
 
每个继电器功能
 
1
 
1
 
继电器电压额定值
 
30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
 
30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
 
 
 
42V峰,在2.5安
 
42V峰,在2.5安
 
输入数
 
8TTL, 24伏直流大
 
8TTL, 24伏直流大
 
可编程输入功能数
 
1, 无事例可指定
 
1, 事例指定
 
记入仪输入数
 
1
 
1
 
手动电源/手持控制器
 
 
 
排风扇
 
 
 
测试模式
 
 
 
挡光器延迟
 
 
 
次工具
 
 
 
大允许相移频率
 
1.0 MHz
 
1.0 MHz
 
机箱尺寸
 
1/2机架,2U高度
 
1/2机架,2U高度
 
速率和膜厚显示分辨
 
0.1A, 从0.0至99.9A/;1A/, 从
 
100至999A/
 
0.1A, 从0.0至99.9A/;1A/, 从
 
100至999A/
 
 
 
显示膜厚分辨=1A
 
显示膜厚分辨=1A
 
通过输入选择镀层
 
 
 
用户指导语言
 
英文,中文
 
英文,中文
 
控制环
 
       PID
 
PID
 
数据登录
 
 
 
质量和稳定性功能
 
 
 
样品和保持
 
 
 
坩埚选择
 
 
 
坩埚反馈输入
 
 
 
选择控制电压性
 
是,+/-2.5,5,10伏
 
是,+/-2.5,5,10伏
 
 
 
15-位分辨率
 
15-位分辨率
 
程序锁定码
 
        是
 
        是
 
用户标签过程/镀层
 
        否
 
        是
 
XTC/2 RS232通讯兼容性
 
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