电镜能谱体化设计，简洁小巧

Phenom ProX 的能谱仪EDS是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，售后无忧的宗旨，Phenom ProX的能谱仪EDS  系统完全嵌入在电镜主机中，利用半导体制冷，无需额外冷却系统。下图是传统电镜能谱仪系统与Phenom ProX的对比图

电镜分辨率显著提高

瞬间得到样品表面形貌和元素含量

步：利用成像模式得到高分辨率的照片，

背散射电子给出丰富的成份像，杂质目了然

第二步：如果需要分析元素含量，瞬间切换到成份分析模式，点击感兴趣的区域，立刻给出定量定性分析元素名称和含量分布

5kV，10kV，15kV 三档加速电压

Phenom ProX提供三档加速电压，用户可根据样品类型和测试目的，灵活切换

5kV ：血液  绝缘体直接观测模式

适合对电子束敏感的样品

10kV：电路板  zui佳分辨率模式

适合绝大部分样品

15kV：电路板  元素分析模式

X射线特征谱线更明显

表面形貌和成分信息同时展现

背散射电子的产率、出射角度与样品成份及表面形貌相关。Phenom（飞纳）采用4分割半导体背散射电子探测器，为您提供两种成像模式，模式之间可迅速切换：

•   成份模式：同时给出样品表面形貌与成份信息，不同元素可由其灰度对比度的不同加以分辨

•   形貌模式：去除成份信息，样品表面凹凸起伏等微观结构更加明晰，适用于表面粗糙度和缺陷分析成份模式

4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加

形貌模式

4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消

成份模式图像包含样品成份与形貌信息

形貌模式图像仅突出样品表面形貌特征

zhuanli样品杯，30快速成像

Phenom（飞纳）zhuanli样品杯、低空设计、zhuanli的空封锁技术，装入样品后30内即可得到高质量图像，耗时仅为传统电镜的1/10左右。

直接观看绝缘体，无需喷金

Phenom（飞纳）采用低空技术，出射电子与空气分子碰撞产生正离子，正离子与样品表面累积的电子中和，有效抑制荷电效应的产生，直接观测各种不导电样品（如下图所示）。

利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右，而且不会影响灯丝寿命，下图头发示例：

操作简便，全程导航

•  自动/手动聚焦

Phenom（飞纳）操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。界面右侧显示光学导航和低倍SEM导航窗口，方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。

•  自动/手动亮度

•  自动/手动对比度

•  自动灯丝居中调节

•  自动马达样品台

•  光学/电子样品导航

光学导航，所有待观测样品尽在视野之中，高倍下准确切换样品，只需点击感兴趣样品，即可自动移动到屏幕中央

低倍SEM照片导航，导航窗口中的彩色矩形框指示了住观测窗口的观测区域，点击感兴趣的区域，自动移动到样品中央。

长寿命/高亮度/低色差 CeB6 灯丝

Phenom（飞纳）采用逸出功为2.5eV的CeB6灯丝，其亮度为钨灯丝的10倍，出射电子色差小，为您提供更高质量的图像，其使用寿命长达1500小时，为钨灯丝的10倍，可正常使用1-3年无需更换灯丝，免去了您频繁更换灯丝的麻烦，保证工作进度。

环境适应性高，完全防震

Phenom（飞纳）可以放置在几乎所有的室内环境当中，无需超净间。采用灯丝、探测器、样品台相对体化的设计，震动不会引起三者间的相对运动，使Phenom成像不受震动影响，可放置在较高楼层。

互联网远程检测

Phenom（飞纳）拥有远程检测功能，通过网络，业工程师可随时为您远程检测系统、答疑解难，为您提供全方位的保护，让您的Phenom随时处于zui佳工作状态。

丰富的拓展功能选件

适用于不同域的样品杯选件
 

飞纳台式扫描电镜 能谱版
——  智能、高效、能谱电镜体化

放大倍数：20×-45,000×

分辨率：优于25nm

电子枪：1500小时CeB6灯丝

抽空时间：10

加速电压：5 / 10 /15 kV 三档

能谱仪EDS元素分析功能

拓展功能：3D粗糙度重建、纤维统计测量，高倍拼图等