分子泵 Hipace 300,涡轮分子泵
产品介绍
涡轮分子泵应用 Hipace 300
镀膜:光伏、CD/DVD/PVD
工业:灯管制造
研发:纳米技术、生物技术
分析
仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析
半导体:PVD、CVD、Beamline、Inspection
产品参数
Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 300 技术参数:
分子泵型号
接口 DN
抽速 l/s
压缩比
高启动压强mbar
限压力
全转速气体流量hPa l/s
启动时间
重量
进气口
排气口
氮气
N2
氦气He
氢气 H2
氮气
N2
氮气N2
hPa
氮气N2
min
kg
HiPace 300
HiPace 300 C
HiPace 300 P
HiPace 300 Plus
100
16
260
255
220
> 1X1011
15(控制器TC 110)
20(控制器TC 400)
< 1X10–7
5(控制器TC 110)
14(控制器TC 400)
3.5(TC 110)
1.8(TC 400)
5.8 – 8.2
HiPace Plus 系列涡轮分子泵是为电子显微镜和高端质谱行业量身定做的产品。
HiPace C 系列涡轮分子泵适合腐蚀性气体环境。
此外上海伯东 Pfeiffer 还提供分子泵 HiPace P 系列,因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业域。
产品介绍
Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 300
上海伯东销售维修德普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 300 抽速可达到 260 l/s 高性能涡轮分子泵。分子泵紧凑设计保证zui佳性能。Hipace 300 对所有气体的高抽速和高压缩比使其广泛应用于空行业。涡轮分子泵 Hipace 300 通过保护等IP54、半导体 S2、UL / CSA 认证。通过控制器监控运算数据保证分子泵的zui高安全性。此款涡轮分子泵任意位置安装。可选风冷或水冷。多种配件可选