产品介绍

优 点             

    ◆   全刻度范围从100毫乇…1000乇

    ◆   电源接通后的快速稳定性

    ◆   暴露大气压后的快速恢复性

    ◆   抗腐蚀性陶瓷传感监测器

    ◆   卓越的长期讯号稳定性

    ◆   温度补偿

    ◆   保护传感器防止污染

    ◆   键调零功能

    ◆   宽范围电源

    ◆   2个设点（选项）

    ◆   RS232接口（选项）

 

用  途              

 

要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量:

    ◆   用于刻蚀，CVD, PVD, ALD半导体制造设备

    ◆   资料贮存和显示器制造设备

    ◆   工业真空设备

    ◆   常用高精度真空测量

 

产品参数

订 货 资 料        

 

CDG025D，温度补偿型

 

全刻度范围                              法兰型式

 

Torr

 

Pascal

 

Mbar

 

1/2”tube

 

DN 16 ISO-KF

 

DN 16 CF-R

 

8 VCR

 

1000

 

133322

 

1333

 

375-000

 

375-001

 

375-002

 

375-003

 

100

 

13332

 

133

 

376-000

 

376-001

 

376-002

 

376-003

 

10

 

1333

 

13.3

 

377-000

 

377-001

 

377-002

 

377-003

 

1

 

13.3

 

0.13

 

378-000

 

378-001

 

378-002

 

378-003

 

0.1

 

13.3

 

0.13

 

379-000

 

379-001

 

379-002

 

379-003

 

 

 

CDG025D, 温度补偿型，带2个设点和RS232接口

 

全刻度范围                             法兰型式

 

Torr

 

Pascal

 

Mbar

 

1/2”tube

 

DN 16 ISO-KF

 

DN 16 CF-R

 

8 VCR

 

1000

 

133322

 

1333

 

375-300

 

375-301

 

375-302

 

375-303

 

-

 

110000

 

1100

 

375-500

 

375-501

 

375-502

 

375-503

 

200

 

26664

 

267

 

382-300

 

382-301

 

-

 

-

 

100

 

13332

 

133

 

376-300

 

376-301

 

376-302

 

376-303

 

-

 

10000

 

100

 

376-500

 

376-501

 

376-502

 

376-503

 

20

 

2666

 

26.7

 

-

 

-

 

-

 

-

 

10

 

1333

 

13.3

 

377-300

 

377-301

 

377-302

 

377-303

 

-

 

1000

 

10

 

377-500

 

377-501

 

377-502

 

377-503

 

1

 

133

 

1.3

 

378-300

 

378-301

 

378-302

 

378-303

 

-

 

100

 

1

 

378-500

 

378-501

 

378-502

 

378-503

 

0.25

 

33.3

 

0.33

 

385-300

 

385-301

 

385-302

 

385-303

 

0.1

 

13.3

 

0.13

 

379-300

 

379-301

 

379-302

 

379-303

 

-

 

10

 

0.1

 

319-500

 

379-501

 

379-502

 

379-503

 

 

 

粗体=标准产品

 

其他法兰型式和全刻度范围，请提出要求

 

 

产品介绍

INFICON电容薄膜真空计

 

产品型号：CDG025D

INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空机，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能，的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点，如键调零功能和设点调整，抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的长使用寿命。独特的传感器屏敝（zhuanli技术）保护真空计防止过程污染。坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性，长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准。