Hipace 700普发分子泵
一、概述

HiPace® 700

 

可在任何方向安装

 

集成型驱动电子设备 TC 400

 

集成式高性能冷却系统

 

DN 160 CF-F 法兰，适用于苛刻的超高真空应用场合

 

结构紧凑但功能强大的涡轮泵，用于 N2 时的高抽速可达 685 l/s

 

佳真空性能，低功耗

 

涡轮分子泵入门套件

易于安装、快速应用和运行

 

佳匹配的组件，真正的“即插即用”

 

 

 

P系列

 

工艺过程适宜，耐灰尘

 

理想适用于涂层及半导体工艺以及诸如电子束焊接装置等易受灰尘影响的工业应用

 

 

 

Plus

 

微振动

 

杂散磁场低

 

适用于高要求分析设备、例如电子显微镜

 

 

 

H系列高压缩率

 

**的压缩率，尤其适用于轻质气体

 

适用于生成超高真空

 

 

 

二、技术参数

 

 

 

 

HiPace 700HiPace   700

 

入口接口

DN16

 

 ISO-K

 

DN160

 

CF-F

 

DN160

 

ISO-F

 

DN160

 

ISO-K

 

DN160

 

CF-F

 

DN160

 

ISO-F

 

电子驱动单元型号TC400TC400TC400TCP350TCP350TCP350

是否独立驱动标配标配标配外置外置外置

抽速Ar（L/S）665665665665665665

H2（L/S）555555555555555555

He（L/S）655655655655655655

N2（L/S）685685685685685685

限压力hPa＜1*10-7＜5*10-10＜1*10-7＜1*10-7＜5*10-10＜1*10-7

建议启动压强hPa≤11≤11≤11≤10≤10≤10

运行电压

48 (± 5 %)

 

VDC

 

48 (± 5 %)

 

VDC

 

48 (± 5 %)

 

VDC

 

48 (± 5 %)

 

VDC

 

48 (± 5 %)

 

VDC

 

48 (± 5 %)

 

VDC

 

转速± 2 %RPM492004920049200492004920049200

 

安装方向

任意方向任意方向任意方向任意方向任意方向任意方向

冷却方式，标准

空气空气空气空气空气空气

冷却方式，可选

水水水水水水

冷却水温度

15-35℃15-35℃15-35℃15-35℃15-35℃15-35℃

冷却水消耗l/h100100100100100100

轴承

复合式复合式复合式复合式复合式复合式

声噪dB(A)≤50≤50≤50≤50≤50≤50

通讯

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

防护等

IP54IP54IP54IP54IP54IP54

磁场高许可强度mT666666

排气接口

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

放空接口

G1/8"G1/8"G1/8"G1/8"G1/8"G1/8"

单泵订单号

PM P03 933PM P03 934PM P03 935PM P04 080PM P04 081PM P04 082

基础套件调节控制器型号DCU400DCU400DCU400TCP 350TCP 350TCP 350

调节控制器PM C01 823PM C01 823PM C01 823PM C01 740PM C01 740PM C01 740

接头线,3米PM 061 352-TPM 061 352-TPM 061 352-TPM 061 356-TPM 061 356-TPM 061 356-T

电源线P 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZA

轴流风扇PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303

 

 

 

 

 

 

 

 

HiPace 700PHiPace 700 Plus

 

入口接口

DN16

 

 ISO-K

 

DN160

 

CF-F

 

DN160

 

ISO-F

 

DN160

 

ISO-K

 

DN160

 

CF-F

 

DN160

 

ISO-F

 

电子驱动单元型号TC400TC400TC400TC400TC400TC400

是否独立驱动标配标配标配标配标配标配

抽速Ar（L/S）650650650665665665

H2（L/S）275275275555555555

He（L/S）550550550655655655

N2（L/S）670670670685685685

限压力hPa＜1*10-7＜5*10-10＜1*10-7＜1*10-7＜5*10-10＜1*10-7

建议启动压强hPa≤1.1≤1.1≤1.1≤11≤11≤11

运行电压

48 (± 5 %) 

 

VDC

 

48 (± 5 %) 

 

VDC

 

48 (± 5 %) 

 

VDC

 

24 (± 5 %) 

 

VDC

 

24 (± 5 %) 

 

VDC

 

24 (± 5 %) 

 

VDC

 

转速± 2 %RPM492004920049200492004920049200

 

安装方向

任意方向任意方向任意方向竖直，法兰口朝上竖直，法兰口朝上竖直，法兰口朝上

冷却方式，标准

空气空气空气空气空气空气

冷却方式，可选

水水水水水水

冷却水温度

15-35℃15-35℃15-35℃15-35℃15-35℃15-35℃

冷却水消耗l/h100100100100100100

轴承

复合式复合式复合式复合式复合式复合式

耐颗粒材质

YESYESYES

 

 

低振动

 

 

 

YESYESYES

声噪dB(A)≤50≤50≤50≤50≤50≤50

通讯

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

防护等

IP54IP54IP54IP54IP54IP54

磁场高许可强度mT666666

排气接口

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

 ISO-KF

 

G1/4"

 

放空接口

G1/8"G1/8"G1/8"G1/8"G1/8"G1/8"

单泵订单号

PM P04 275PM P04 681PM P04 680PM P04 440PM P04 441PM P04 442

基础套件调节控制器型号DCU400DCU400DCU400DCU310DCU310DCU310

调节控制器PM C01 823PM C01 823PM C01 823PM C01 822PM C01 822PM C01 822

接头线,3米PM 061 352-TPM 061 352-TPM 061 352-TPM 061 352-TPM 061 352-TPM 061 352-T

电源线P 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZA

轴流风扇PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303

 

 

 

 

HiPace 700HHiPace   700H

 

入口接口

DN160

 

ISO-K

 

DN160

 

 CF-F

 

DN160

 

 ISO-F

 

DN160

 

 ISO-K

 

DN160

 

 CF-F

 

DN160

 

 ISO-F

 

电子驱动单元型号TC400TC400TC400TCP350TCP350TCP350

是否独立驱动标配标配标配外置外置外置

抽速Ar（L/S）665665665665665665

H2（L/S）555555555555555555

He（L/S）655655655655655655

N2（L/S）685685685685685685

限压力hPa＜1*10-7＜1*10-10＜1*10-7＜1*10-7＜1*10-10＜1*10-7

建议启动压强hPa≤22≤22≤22≤22≤22≤22

转速± 2 %RPM492004920049200492004920049200

 

安装方向

任意方向任意方向任意方向任意方向任意方向任意方向

冷却方式，标准

水水水水水水

冷却方式，可选

空气空气空气空气空气空气

冷却水温度

15-35℃15-35℃15-35℃15-35℃15-35℃15-35℃

冷却水消耗l/h100100100100100100

轴承

复合式复合式复合式复合式复合式复合式

声噪dB(A)≤50≤50≤50≤50≤50≤50

通讯

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

RS-485

 

Remote

 

防护等

IP54IP54IP54IP54IP54IP54

磁场高许可强度mT666666

排气接口

DN25

 

ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

ISO-KF

 

G1/4"

 

DN25

 

ISO-KF

 

G1/4"

 

放空接口

G1/8"G1/8"G1/8"G1/8"G1/8"G1/8"

单泵订单号

PM P05 750PM P05 751PM P05 752PM P05 753PM P05 754PM P05 755

基础套件调节控制器型号DCU400DCU400DCU400TCP 350TCP 350TCP 350

调节控制器PM C01 823PM C01 823PM C01 823PM C01 740PM C01 740PM C01 740

接头线,3米PM 061 352-TPM 061 352-TPM 061 352-TPM 061 356-TPM 061 356-TPM 061 356-T

电源线P 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZAP 4564 309ZA

轴流风扇（可选项）

PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303PM Z01 303

优势：

 

1.磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装

2.集成控制器

3.清洁无油

4.高气体流量

5.低震动及低磁场干扰

6.磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿

7.转速范围大

涡轮分子泵 HiPace 700 特性

稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统

结构紧凑, 满足更小的安装空间要求

分子泵高气流量和高抽速

基本款任意角度安装

防护等 IP 54, 符合工业环境要求

可应用于腐蚀性气体工艺

分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证

 

涡轮分子泵应用 HiPace 700

镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光学镀膜, 硬质涂层

工业: 医学技术, 工业检漏, 电子束焊接, 隔离真空, 热处理, 灯管制造

研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术

分析仪器: 质谱, 表面分析, 残余气体分析

半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks

轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速高 90,000 rpm, 限真空大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>