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美国ZYGO激光干涉仪VeriFire#2023价格已更新

点击次数:32 发布时间:2023/3/24 11:53:20

美国ZYGO激光干涉仪VeriFire#2023价格已更新

http://www.app17.com/c158500/products/d11417479.html
 

产品概述:

菲索型激光干涉仪,具有环形光源伪迹消除抑制技术,是一种高精度、严格共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire激光干涉仪,继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的大部分优点,融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等。 Zygo新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。

系统性能特点:

测量功能:精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波

测量技术:机械相移干涉测量(PSI)

校准系统 :快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

测量光束直径 :4″(102mm)或6″(152mm)

对准视场范围FOV :4″:±3°;6″:±2°;

光学中心线 :4.25″(108mm)

激光光源:大功率稳频氦-氖激光,IIIa 

波长: 633 nm

频率稳定度: < 0.0001 nm

相干长度 :>100m

成像分辨率 :1000 x 1000 像素

帧速 :43Hz

数据采集时间 :302ms

数据模式: 8位

放大 :电控数显放大1-5X

偏振 :接近圆偏振(1.2:1或者更好)

光曈调焦范围: 4&Prime;:&plusmn;2.5m;6&Prime;:&plusmn;5.5m;

计算机和软件 :高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO原装软件MetroproTM X和MetroproTM 9

安装构造 :水平卧式或垂直立式

附件 :详细参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件,OMP-0463

尺寸(长x宽x高): 4&Prime;:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6&Prime;:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)

测量参数:

RMS重复性: < 0.06 nm, &lambda;/10,000 (2&sigma;)

RMS波重复性:< 0.35 nm,&lambda;/1800 (mean + 2&sigma;)

像素峰值偏差:< 0.5 nm, &lambda;/1200 (99.5th %)

工作环境:

温度:15&deg;C - 30&deg;C (59&deg;F - 86&deg;F)

温度变化率: <1.0&deg;C/15min

湿度:相对湿度5% - 95% , 无凝结

隔振:机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。

 

原创作者:北京仪光科技有限公司

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