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技术文章
Sensofar共聚焦白光干涉仪|对粗糙度和薄膜厚度的测量
点击次数:21 发布时间:2024/7/3 16:37:51
众所周知,光学应用是一个具有挑战性的应用:样品非常光滑、平坦,有时是透明的。只有**轮廓仪才能对其进行成像,并满足该领域的严格要求。我们对透镜和滤光片的经验在于器件粗糙度、微透镜阵列和薄膜厚度的测量。
微透镜阵列
球面透镜
球面透镜具有更简单的设计和更低的制造成本,应用范围广泛。
可以分析尺寸和Sa、Sq和Sz粗糙度参数。
非球面透镜
以其较小的像差而著称,非球面透镜适用于光学设计,有极少的元件会寻求更好的性能。
可以分析曲率半径,尺寸和10个非球面变形系数以及Sa、Sq和Sz粗糙度参数。
相机镜头
可以在我们的软件SensoVIEW中执行量测区域的体积计算。
SensoVIEW分析软件对不同尺寸的孔具有非常高的灵敏度(该样品的d=2mm)。
多边形透镜
六边形微透镜是透镜微阵列中使用的典型几何结构,它们因其高密度而引人注目。
原创作者:北京仪光科技有限公司