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Sensofar共聚焦白光干涉仪 | AI多焦面叠加技术
点击次数：23 发布时间：2024/7/17 16:45:33
Sensofar 多焦面叠加
主动照明多焦面叠加是一种为了测量粗糙的表面形状而开发的光学技术。这项技术基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 测量领域的广泛专业知识，专门设计用于补充低放大率下的测量。
BACKGROUND
多焦面叠加原理
主动照明多焦面叠加技术利用了明场中存在景深的特点，样品只有在的特定 z 范围中对焦。 景深会根据物镜的数值孔径或光源波长而变化。 Z 高度的值是根据图像的高对比度（清晰度或微小细节）来计算的，从而得出正确的对焦位置。
光学技术
我们的光学技术是通过的microdisplay来实现，光线会从光源 (LED) 发出，同时穿过microdisplay上阵列排布的光学元件，反射到达相机。 在这种情况下，microdisplay就像一面镜子（100% 反射率）。 这种光学技术就像一个标准的视频显微镜。 通过执行垂直扫描，可以在每个平面上捕获明场图像。
算法
克服多焦面叠加的限制
在较为光滑的表面上，对焦时会无法获得足够的信号来识别正确的焦点位置。 这通常是因为在光滑表面的上，会出现 3D 杂讯。 Sensofar 使用主动照明进行了改进，现在通过microdisplay 投射出人造纹理（棋盘图案），即使在光滑表面上因为对比度差而在对焦时无法提供足够的信号，也能获得更可靠的对焦位置。
主要特点
该技术的亮点包括高斜率表面(高达 86?),扫描速度(3 mm/s）和较大的垂直范围测量。
在散射表面上测量可达 86? 的斜率支援
主动照明允许在光滑表面上进行测量
快速扫描，3 秒内拍摄200张图像
多个光源
原创作者：北京仪光科技有限公司
