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S wide 是用系统,适用于快速测量大样品区域,测量面积高可达 300 x 300 mm。它具有集成了数字显微镜的高分辨率测量仪器的所有优点。一键式采集功能,易于使用。
一、应用域:大面积 3D 光学测量系统
- 制造业
- 考古学与古生物学
- 消费类电子产品
- 医疗设备
- 模塑
- 光学
- 钟表业
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感受3D体验,Sensofar 3D光学轮廓仪,为您展现全新的3D立体形貌
全新设计的3D光学轮廓仪S neox颠覆传统,将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融于一身,测量头内无运动部件。
全自动光学轮廓仪S neox能够测量不同的材质,结构,表面粗糙度和波度,几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌,测量应用。Sensofar的核心是将3种测量方式融于体,确保了其卓越的性能。配合SensoSCAN软件系统,用户将获得难以置信的直观操作体验。
SENSOFAR公司作为共聚焦干涉显微镜的发明者,开创性地将共聚焦和干涉技术结合在起,无需插拔任何硬件就可以在软件内自动实现共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切换。使客户无需花费高昂的费用就能同时拥有共聚焦显微镜和干涉仪。
SENSOFAR在1999年创立之初,就是以三维表面形貌测量为主要研发方向,通过持续不断地研发和申请利技术,在全球范围内创造了数百种表面形貌测量应用产品,积累了丰富的技术实力。
一、产品特点及优势
1. 共聚焦模式
共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um.利用它可以实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70°(粗糙表面达86°)。
共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。
2. 相位差干涉模式
相位差干涉是一种亚纳米精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米的纵向分辨率。使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。
3. 白光干涉干涉模式
白光干涉是一种纳米测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米的纵向分辨率。
4. 多焦面叠加模式
多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据我们在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验,特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(大86°)。此功能对工件和模具测量特别有用。
5. 真彩色共聚焦图像
每个像素点都能还原真实的色彩。在扫描时红、绿、蓝三色LED交替照明,并将三张单色的图片还原成一幅高分辨率的彩色图像。相比其他品牌采用像素插值算法,S neox用这种技术获得的图片色彩保真度和还原性更胜一筹。