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详细内容
产品介绍:
ZEM20台式扫描电微镜操作简便,仅需鼠标即可完成所有操作,一体式聚光镜,无需手动调节光阑。
信号采集带宽高达10M,扫描速度快,视频模式下实时观察样品。
丰富的原位拓展功能,可兼容自研原位电镜附件(拉伸样品台、加热台、TEC冷台等)。
产品参数:
环境要求:AC 220V,50Hz,1kW,无需减震台
加速电压:3kV~20kV连续可调,1kV步进
电子枪:预对中钨灯丝,一体式聚光镜,无需手动调节物镜光阑,可选配LaB6灯丝
放大倍数: 200 -- 360000倍
探测器:二次电子探测器、四分割背散射电子探测器、集成式能谱仪
样品台行程:
三轴:X: 54mm, Y: 60mm & Z轴电动模块27mm
五轴样品台:X:90mm, Y:50mm, Z:32mm, R:360°,T:-10°-90°
减速模式:标配0-10KV样品台高压减速
超大样品舱:长185mm*宽176mm *高125mm
样品尺寸:
两轴:120mm * 100 mm、高度75mm
五轴:120mm * 100 mm、高度32mm
工作距离:5-80mm
真空模式:
高真空模式:抽真空时间小于30s
低真空模式:选配,低真空1-100Pa自动控制
成像模式:
视频模式:512x 512像素,无需小窗口扫描;
快速模式:扫描时间小于3,512 x 512像素;
慢扫模式:扫描时间小于40,2048 × 2048像素;
图像格式:BMP, TIFF,JPEG,PNG
导航功能:光学CCD导航,舱内摄像头,可实时观察样品舱内情况
整机尺寸:主机:长650mm *宽370mm*高642mm; 机械泵:454mm*165mm*252mm
软件升:自动亮度对比度、自动聚焦、自动消像散、大图拼接
拓展功能:兼容泽攸科技多种原位功能样品台(拉伸台、加热台、TEC冷台等原位测试系统)。
产品特色:
操作简便: 仅需鼠标即可完成所有操作,一体式聚光镜,无需手动调节光阑。
成像快速: 抽真空时间小于30s,光学导航&舱内摄像头,支持快速找样,样品舱实时观察,软件支持自动亮度对比度、自动聚焦、自动消像散、大图拼接。
显示流畅: 信号采集带宽高达10M,扫描速度快,视频模式下实时观察样品,无重影、拖影,不错过每一个细节。
信号多样: 二次电子探测器、四分割背散射电子探测器、集成式能谱仪等多种探测器。(SE+BSE模式:同时采集,任意叠加)。
性能突出:加速电压连续可调,标配样品台减速功能,选配低真空模式,超大样品舱,适应多种类型样品和原位测试功能。
体积小巧:无需特装设备间和额外减震台,常规市电即插即用。
原位拓展:丰富的原位拓展功能,可兼容自研原位电镜附件(拉伸样品台、加热台、TEC冷台等)。
售后无忧: 国内自主研发,提供完备的高性价比售后服务。厂家在北京、上海、安徽、东莞等多个办事处提供样机demo服务。
可拓展原位电镜附件列表:
SEM芯片加热台,SEM加热炉,SEM电池台,SEM液体电化学台,SEM气体台,SEM拉伸台,SEM-TEC冷台,SEM液氮冷台,SEM电学探针台,SEM通光等扫描电镜原位测试系统。