设备规格:

全自动操作模式，机械手臂自动上片取片；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

多腔体生产模式，单个腔体适应于 2英寸-12英寸 晶圆或者大支持 300mmx300mm 样品；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

退火温度范围 300℃-1000℃；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

温度均匀性 ≦±1%；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

真空腔体（可选配常压腔体或正压腔体）；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

冷却方式包括水冷和氮气吹扫；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

MFC控制，3-5路制程气体。快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

应用域:快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

离子注入/接触退火；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

金属合金；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

热氧化处理；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

化合物合金（砷化镓、氮化物等）；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

多晶硅退火；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

太阳能电池片退火；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

高温退火；快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA

高温扩散。快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,快速退火炉RTA