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详细内容
适用对象：适用于LPE外延炉，五种炉子的石英钟罩及石英件的清洗；
基本规格：1、机台封面 聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）
2、机台主机强度结构 整体骨架表面喷涂处理
3、机台视窗 透明、抗静电之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）
选配模块：1、蚀刻液恒温系统 2、蚀刻液循环过滤系统 3、二流体喷淋系统（CGB技术）
4、全自动烘干系统 5、可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理
机台特点：1、全程自动控制，工艺生产过程中不用人工干预，保证产品性能的一致性;
2、采用CGB技术，钟罩静止等待，通过二流体及喷淋助力装置完成均匀蚀刻清洗;
3、更全面的全自动烘干系统;
4、多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储;
5、作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全;
6、客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要;
制程控制：PLC控制方式。
设备制造：江苏英思特半导体科技有限公司
