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点击次数：17 发布时间：2023/3/17 14:02:07

　　sem扫描电镜的成像原理不同于光学显微镜和透射电子显微镜。它以电子束为照明源，将非常精细聚焦的电子束以光栅扫描的方式照射到样品上，并通过电子与样品相互作用。然后将产生的二次电子、背散射电子等收集并处理，以获得微观形貌的放大图像。

　　为了获得清晰的sem扫描电镜照片，必须能够执行基本的电子显微镜操作并优化各种样品的工作条件。基本操作包括熟练调整焦距和散光。对焦相对容易，改变焦距直到图像清晰的那一刻。散焦较多时可使用较高的感光度，对焦点附近可降低感光度以进行对焦。

　　在基本操作中消除散光是比较麻烦的，尤其是散光较大的时候，很多初学者都很难调整。然而，散光的产生之已经介绍过了。由于电子束不再是圆形的，如果不消除散光，图像就不清楚。然而，在光学中有两个特殊位置，子午线和矢状线，其中光束点*正交，清晰的圆圈一般在矢状和子午线的中间。

　　所以反映在图像中，当改变焦距时，会出现两个严重的拉伸，而且拉伸方向可能因样品而异，但这两个拉伸方向必须是正交的。因此，此时将焦距调整到两个拉伸状态的中间位置，焦距基本固定。然后在这个焦距，调整散光线圈，先调整X或Y的一个维度，等图像清晰后再调整另一个维度。

　　拉伸方向不难判断。样品中的各种特征点都可以作为判断的依据，比如孔洞或颗粒，或者样品的边缘，都可以很容易地判断出来。特别是在散光比较大的情况下，焦距和散光这两个维度不能乱调整，以免散光过大而*无法判断。

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