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扫描电子显微镜分析的调焦结构
点击次数：16 发布时间：2023/3/17 14:08:57
扫描电子显微镜分析具有接触、轻敲、相移成像、抬起等多种工作模式，是一款集成原子力显微镜、摩擦力显微镜、扫描隧道显微镜、磁力显微镜和静电力显微镜于一体的设备，可以测量样品的表面特性，如形貌、粘弹性、摩擦力、吸附力和磁/电场分布等等。
扫描电子显微镜分析可实时获得样品表面的实空间三维图像。既适用于具有周期性结构的表面，又适用于非周期性表面结构的检测，可在真空、大气、常温、常压等条件下工作，甚至可将样品浸在液体中，不需要特殊的样品制备技术，除此之外，其理论横向分辨率可达0.1nm，而纵向分辨率更高达0.01nm，从而可获得物质表面的原子晶格图像，这使其成为了除了场离子显微镜和高分辨率透射电子显微镜外，第三个能在在原子尺度上观察物质结构的显微镜。
无论是透明的材料或不透明材料、甚至荧光材料都可以分析出较为理想的效果。在较低放大率下，移动采样阶段可以找到待分析的样本、放大的和聚焦的样本。较简单的方法是找出边界明显的特征点，使用对比度、亮度、放大率和焦距来制作图像，然后在样本的基础上寻找或选择感兴趣的分析站点。
扫描电子显微镜分析的调焦结构分为微动调焦和粗动调焦两部分：
1、微动调焦结构
微动机构有齿轮式，杠杆式，行星轮式等结构形式，中以齿轮式粗、微动同轴结构使用得普通。
2、粗动调焦结构
粗动调焦机构一般采用齿轮与齿条的啮合运动形式，选用组织稳定而耐磨性较强的合金材料，并经过精密加工而成。当转动粗动手抡时，全相试样表面对光学系统发生相对运动，被调系统作准确的直线运动。移动时效尾与燕尾榴配合平稳，没合松动或过紧的现象。而齿轮与齿条的齿合精度由调整齿条与齿轮的中心距。
扫描电子显微镜分析
http://www.mcgillsci.com/SonList-2337459.html
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