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技术规格
温度范围:-160℃~450℃
升温斜率:0-10℃/min
测量传感器:PT100
制冷方式:电声制冷或液氮制冷
降温时间:30min~-160℃(液氮)
真空接口:KF25
光学观察窗:26mm
测量环境:真空、惰性、氧化性、静态、动态
控温精度:±0.5℃
样品台尺寸:40×40mm
样品尺寸:φ<22mm
样品尺寸:φ<22mm
探针臂:4个
Y轴:行程±5mm,精度±0.01mm
X轴:行程±5mm,精度±0.01mm
Z轴:行程±5mm,精度±0.01mm
设备尺寸:529×618×456mm
数据格式:Excel格式
保修期:1年
功能特点
无人机外观设计开发,让低温探针台更加小巧精密;
XYZ三维移动平台的开发,位移小分辨率10um以下;
电声制冷机制冷加热 平台应用开发;
液氮制冷加热一体化平台应用开发;
利用机械弹性设计,低温环境下也有弹性,避免在探针压薄膜样品时损坏薄膜;
实现-160℃~450℃的制冷和加热测量环境,控温精度达到±0.5℃;
采用1000X放大镜显微镜设计,有利于实时观察样品的测量状态;
广泛用于复杂、高速器件的精密电气测量,可靠性高;
高低温平台、测量夹具、测量软件等集成于一体,让操作变得简单;
可以通过USB传输数据,数据格式为Excel格式 ;