等离子热压烧结炉

XSKT-SPS-1700（高2400℃）

一．主要技术说明
SPS 快速压力烧结系统是当今世界上的热压烧结系统。具有烧结速度快，样品致密度高等优点，是烧结米相材料，梯度功能材料，介孔纳米热电材料，稀土永磁材料，合金玻璃非平衡态材
料以及生物材料有力的工具。并有望取代通常使用电阻加热的热压炉。
二．系统组成和技术规格
技术规格：
1. 功率：600KW
2. 输入电压：AC380V， 50-60Hz
3. 输出电流：DC 0-2000A
4. 输出电压：DC 0-10V
5. 温度：2400℃
6. 控温精度：±1℃
7. 压力：250T
8. 压头直径：Φ80ｍｍ
9. 压头行程：100ｍｍ
10.冷态极限真空度： 6.7x10 ?3Pa

等离子热压烧结炉

XSKT-SPS-1700（可定制2400℃）

系统组成：
SPS 快速压力烧结系统是由炉体，大功率脉冲直流电源，液压，真空,水冷和测温控制等子系统等组成。
结构特点：
1.腔体构造为立式炉壳，其内层为1Cr18Ni9 做成的圆筒，外壳为1Cr18Ni9 经亚光处理。具有很高的强度和足够的刚度，在外力和高温下不变形。两层之间形成夹套可以通水冷却，将传到炉壳内壁上的热量带走。内外筒与上下法兰焊成一个整体，中间开有抽气孔、红外测温孔及观察孔等。腔内隔热屏是由两层1Cr18Ni9 不锈钢板制作。腔体上部动密封装置是由焊接波纹管实现。上下压头使用不锈钢材料，中央装有水冷装置，密封采用特殊工艺以接触电阻小。压头与炉架之间采用了良好的传压和电绝缘材料，压力传递，以及防止炉架带电

XSKT-SPS-1700（可定制2400℃）

三相380V 市电经整流、滤波加至绝缘栅双极型晶体管IGBT 组成的逆变电路，由主电路转换成脉宽可调的高频交流（约20KHz），再经以非晶软磁材料为铁芯的高频变压器降压、肖特基二极管整流转换成
适于工作需求的低压直流。控制单元输出的控制信号可以对主电路输出做出迅速响应，从而不但给出优良的动、静态输出特性，而且能对各种输入电压的波动予以补偿，并能对各种原因造成的故障做出迅速的保护响应。
结构特征：
3.液压系统
压力装置由液压站、油缸、顶杆及控制器组成。压力油缸控制有两种方式，手动或自动。自动运行时，可根据设定的压力自动保压，使制品始终处于恒压状态。油缸运动的速度调节范围为50~300mm/min。压力油缸在有载工作时具有较高的稳定性，不抖动。上顶杆是一个在高温区有载运动的零件，承受高压和高温的作用，又要在高温区运动。要求它既不能变形，又不能在高温环境下氧化。因此它必须具有良好的冷却条件和动密封性能。整个炉体内的极限真空度在很大程度上取决于上顶杆动密封的情况。采用焊接波纹管达到良好的动密封性能有很高的难度。
4.真空和充气系统
真空系统由高速直联旋片式真空泵加油式扩散泵，管路及真空测量仪表构成。该系统是在炉体的漏率达到极限时，炉子正常工作。管路采用不锈钢波纹管连接。充气系统是由电磁阀等组成。由压力传感器控制，腔体的工作气压。
5. 水冷系统
冷却水由总管进入，经过各支管送到炉壳、炉盖、炉底、电极、上、下压头、泵等需要冷却的地方，然后汇总到总管排出。每路冷却水都有手动阀门，可以按照需要调节流量大小。进水管上设有电接点压力表，当水压低于0.1Mp 时，可自动切断加热器。
6.温测和控制系统
采用可控硅控温，配置具有P、I、D 功能仪表配具有多波段数显表，具有超温声光报警功能配P、L、C 程控器，控制高低温自动切换，1000℃以下用K 型热电偶测温，1000℃以上采用钨铼热电偶测
温。热电偶在超过一定温度后会自动退出到保温层。所有仪表均为霍尼维尔进口仪表。电器元件均采用西门子或欧姆龙电控柜为西门子标准柜，控温精度高，操作方便。
系统应用领域
SPS 快速压力烧结系统原则上可以取代一般的热压烧结系统，完成各种烧结和压力烧结功能。 但是SPS 快速压力烧结系统具有烧结速度快，样品致密度高等特点，特别适用于烧结纳米相材料，梯度功
能材料，介孔纳米热电材料，稀土永磁材料，金属玻璃非平衡材料以及生物材料的研究和生产。

SPS 烧结材料应用范围：
金属：
Fe, Cu, Al, Au, Ag, Ni, Cr, Mo, Sn, Ti, W, Be 等
陶瓷：
氧化物: Al2O3, Mulite, ZrO2, MgO, SiO2, TiO2, HfO2
碳化物: SiC, B4C, TaC, WC, ZrC, VC
氮化物: Si3N4, TaN, TiN, AlN, ZrN, VN
硼化物: TiB2, HfB2, LaB6, ZrB2, VB2u
氟化物: LiF, CaF2, MgF2
金属属陶瓷Si3N4+Ni, Al2O3+Ni, ZrO2+Ni, Al2O3+Ti,
SUS+WC/Co, BN+Fe, WC+Co+Fe
金属间化合物:TiAl, MoSi2, Si3Zr5, NiAl, NbCo, NbAl,
LaBaCuSO4, Sm2Co1