场发射扫描电镜
SEM5000

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。

 

电子枪类型
高亮度肖特基场发射电子枪

分辨率
1nm@15KV
1.5nm@1KV

放大倍率
1~2500000x

加速电压
20V~30KV

样品台
五轴全自动样品台

产品参数

关键参数	分辨率	1.0 nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV
	加速电压	20 V ～ 30 kV
	放大倍率	1 ～ 2,500,000 x
	电子枪类型	高亮度肖特基场发射电子枪
样品室	真空系统	全自动控制，无油真空系统
	摄像头	双摄像头 （光学导航+样品仓内监控）
	行程	X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm  T: -10°～ +70°, R: 360°
探测器和扩展	标配	镜筒内高角度电子探测器 侧向低角度电子探测器
	选配	平插式中角度背散射电子探测器 STEM自动伸缩式扫描透射探测器 样品交换仓 高速束闸和电子束曝光 EDS能谱仪 EBSD背散射衍射 EBIC电子束感生电流 CL阴荧光 高低温原位拉伸台 纳米机械手 大图拼接
软件	语言	中文
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

产品特点