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国仪量子高分辨低真空钨灯丝扫描电镜
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国仪量子技术 (合肥) 股份有限公司
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详细内容
扫描电子显微镜
SEM3200
SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深,成像富有立体感。丰富的扩展性,助您在显微成像的中尽情探索。
丰富的扩展性
SE/BSE/EDS/EBSD等
光学导航
可快速定位目标样品和感兴趣区域
大图拼接
可实现全自动的采图和拼接,展示超大视野画面
图像混合成像(SE+BSE)
在一个图像中观察到样品的成分和表面信息
双阳结构
双阳机构设计,提升了低电压下的分辨率和成像质量
低真空模式在低真空下提供样品表面细节和形貌,软件一键切换真空状态
产品特点
低电压
低真空
大视场
导航&防碰撞
光学导航
手势快捷导航
防碰撞技术
特色功能
智能辅助消像散
自动聚集
自动消像散
自动亮度对比度
多种信息同时成像
快速图像旋转
丰富拓展性
产品参数
型号 | SEM3200A | SEM3200 | ||
---|---|---|---|---|
电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 | ||
分辨率 | 高真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | ||
4 nm @ 30 kV(BSE) | ||||
8 nm @ 3 kV(SE) | ||||
*低真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | |||
放大倍率 | 1-300,000x(底片倍率) | |||
1-1000,000x(屏幕倍) | ||||
加速电压 | 0.2 kV~30 kV | |||
成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器(ETD) | ||
背散射电子探测器、低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||||
图像保存格式 | TIFF、JPG、PNG | |||
真空系统 | 真空模式 | 高真空 | 优于5×10-4 Pa | |
低真空 | 5~1000 Pa | |||
控制方式 | 全自动控制 | |||
涡轮分子泵 | ≥ 240 L/S | |||
机械泵 | 200 L/min (50 Hz) | |||
样品室 | 摄像头 | 光学导航 | ||
样品仓内监控 | ||||
样品台配置 | 三轴自动 | 五轴自动 | ||
行程 | X: 120 mm | X: 120 mm | ||
Y: 115 mm | Y: 115 mm | |||
Z: 50 mm | Z: 50 mm | |||
/ | R: 360° | |||
/ | T: -10°~ +90° | |||
软件 | 语言 | 中文 | ||
操作系统 | Windows | |||
导航 | 光学导航、手势快速导航 | |||
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | |||
特色功能 | 智能辅助消像散、*大图拼接(选配软件) | |||
安装要求 | 房间 | 长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm | ||
温度 | 20 ℃~25 ℃ | |||
湿度 | ≤ 50 % | |||
电气参数 | 电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA |