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技术文章
白光显微干涉仪
点击次数：19 发布时间：2023/8/25 16:41:17
基恩士形状测量激光显微系统VK-X3000系列
搭载白光干涉功能，纳米/微米/毫米一台即可完成测量
超越激光显微镜的限制，以三重扫描方式应对
一台即可测量纳米/微米/毫米
一台即可了解希望获取的信息
纳米分辨率
采用了三重扫描方式，运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的细微粗糙度，
以及镜面体，透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力（从1nm到50mm），纳米/微米/毫米一台完成测量。
1、BasicCharacteristics
观察
从光学显微镜到SEM域一台设备涵盖
42至28800倍
无需对焦
适用于多种样品
2、三重扫描方式解决“难以测量"的难题
可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。
3、纳米分辨率
即使是纳米的微小形状变化也能准确测量。
此外，如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。
4、连高度差较大的凹凸处和大范围区域也能测量
扫描区域50mm见方。
凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。
只需一台设备，即可同时掌握整体形状和局部形状。
https://www.chem17.com/st525722/product_36940586.html白光显微干涉仪
原创作者：山东联超电子设备有限公司
