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化学气相沉积设备
点击次数：12 发布时间：2024/7/10 9:10:06
该化学气相沉积设备采用双层壳体并带有风冷系统，使其炉体表面温度都小于55℃
炉底安装一对滑轨，可手动滑动，以便满足特殊工艺的快速升降温的求。
炉管内气压不可高于0.02MPa
当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
石英管的长时间使用温度＜1100℃
对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
炉体结构：炉体通常采用耐火材料制成，具有良好的保温性能。炉膛内部设有加热元件，用于提供加热所需的热量。此外，炉体还配备了炉门，方便工件的装卸。
控温系统：采用的控温系统，通过控温热电偶、智能数显控仪表、可控硅和过零触发系统等部件，实现炉内温度的控制。该系统可以根据设定的工艺要求，自动调节加热速度和保温温度，确保工件加热均匀、稳定。
淬火槽：淬火槽是它的重要组成部分，用于容纳淬火介质(如水、油等)。淬火槽的设计应考虑到工件的尺寸和形状，以确保工件在淬火过程中能够充分接触淬火介质，实现快速冷却。
化学气相沉积设备
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原创作者：山东联超电子设备有限公司
