德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号：PECVD 原产地：欧洲 发布时间：2022/2/3 21:15:40更新时间：2024/12/24 6:47:34
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详细内容
产品特点
主要技术参数：
PC控制软件
RF发生器 0~3000W 脉冲模式
腔体防腐处理，400*400*1500mm,240L
腔体加热80℃
带观察窗
多路工艺气体通道，MFC控制 防腐处理
HMDSO单体通道
易燃易爆气体安全阀
Gas Shower气浴电
设备外尺寸2000*600*1700mm
进口真空泵组
电压 3项400V
主要技术参数：
PC控制软件
RF发生器 0~3000W 脉冲模式
腔体防腐处理，400*400*1500mm,240L
腔体加热80℃
带观察窗
多路工艺气体通道，MFC控制 防腐处理
HMDSO单体通道
易燃易爆气体安全阀
Gas Shower气浴电
设备外尺寸2000*600*1700mm
进口真空泵组
电压 3项400V
主要技术参数：
PC控制软件
RF发生器 0~3000W 脉冲模式
腔体防腐处理，400*400*1500mm,240L
腔体加热80℃
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多路工艺气体通道，MFC控制 防腐处理
HMDSO单体通道
易燃易爆气体安全阀
Gas Shower气浴电
设备外尺寸2000*600*1700mm
进口真空泵组
电压 3项400V
热门标签：PECVD等离子体化学气相沉积设备
