工作原理:

将该二聚体进行高温裂解产生双自由基，再导入成膜室在成膜物体表面冷凝并迅速聚合，得到均匀致密的聚对二甲苯薄膜。

聚对二甲苯薄膜涂层特点:

聚对二甲苯薄膜无色透明,膜厚0.1μm 时仍无针孔。它的化学性能稳定 ,有优良的机\电\热和生物相容性,对气体有良好的阻挡作用,还能提高被抱覆物的耐摸性,同时是一种能防潮\防霉\防酸碱\耐辐照的高品质防护涂层。聚对二甲苯薄膜涂层的优良特性,使其在许多高科技域具有广阔的应用景 。

Parylene涂层在电子域应用其广泛,主要用于:

电路板,半导体器件,集成电路,混合微电路, 混合微电路,电容器,微型电机和铁氧体;

在光学和光电域主要用于光学光电器件,复印技术光电感光体,激光存储和记录器件;

在生物医学域用于人工假体,埋入式器件,血液分析器等;

在航空航天域主要用在航空航天器上,用于绝缘保护。

Diener P30聚对二甲苯薄膜涂层系统技术参数:

parylene N, C, D, F-VT4

涂层厚度: 0.05 ~ 50 um

外形尺寸：W1400*D700*1700mm:         

裂解管功率及温度:    2 kW / max. 700 °C  
 

样品舱:      

直径：310mm 高度：500mm

样品台：

直径：150mm 高度：270mm   

液氮冷却
 

真空泵：

双油泵

排气速度：25m3/h

限真空度：1*10-3mbar 
 

控制:  Windows Full PC  

400 V/16 A/50-60 Hz