Axia ChemiSEM 智能型钨灯丝扫描电镜

【特点与应用】
实时成分信息：同步扫描获取多种信号时执行能谱分析，实时检测形貌与元素信息；
成像平台即时可用：只需关注数据采集，不必忧虑电镜条件设置；
更快获得数据：多种成像和扫描策略，优化图像采集效果并提升系统处理能力；
灵活的样品台设计：全开门式设计，大样品可轻松加载到样品仓内，样品10 kg；
卓越的成像性能：提供低真空模式和电子束减速模式用于消除荷电效应。

【技术参数】
发射源：预对中钨灯丝

分辨率：
高真空成像
3.0 nm@ 30 kV（SE）；8.0 nm@ 3 kV（SE）
高真空下减速模式
7.0 nm@ 3 kV（BSE）
低真空成像
3.0 nm@ 30 kV（SE）；4.0 nm@ 3 kV（BSE）；10 nm@ 3 kV（SE）

放大倍数：5 ~ 1,000,000×（宝丽来相纸放大）

加速电压范围：200 V ~ 30 kV 

探针电流范围：可达到2 μA，连续可调

低真空范围：高达150 Pa

X-Ray工作距离：10 mm，EDS检出角：35°

样品室：内宽280 mm，端口10个

样品台：五轴全自动马达驱动
X=120 mm,
Y=120 mm,
Z=55 mm,
T=-15o~90o,
R=360o （连续旋转）
样品尺寸 240 x 280 x 128 mm3
样品承重 10 kg

探测器系统：
高真空二次电子探测器ETD
可伸缩式背散射探测器BSED
样品室内红外相机CCD
图像导航彩色光学相机Nav-Cam+?
具有ChemiSEM技术的TrueSight X EDS 探测器

控制系统：
操作系统：Windows 10
图像显示：24寸LCD显示器，显示分辨率1920×1200
支持用户自定义的GUI，可同时实时显示四幅图像
软件支持Undo和Redo功能