高温超纳米压痕测试仪 （UNHT3 HTV）

全球台真正意义的商品化的高温高真空超纳米压痕仪，主要测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。 UNHT³ 技术与独特的加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。

主要特点 新一代的高温纳米压痕测试仪

• 环境条件下热漂移 （< 0.5 nm/min） 和整个温度范围内热漂移 （< 3 nm/min）。

• 载荷框架刚度 （>>106 N/m） 和框架柔度 （<<0.1 nm/mN）：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。

• 高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至。

• 独特的加热控制系统（3 项待批），采用3 个红外 （IR） 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。

• 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 标准

技术指标