赛默飞 EscaLab Xi+ X射线光电子能谱仪
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光刻机
详细内容
Thermo Fisher Scientific ESCALAB Xi+是新研发出的一款基于ESCALAB 250Xi产品后,具有可扩展功能、多种分析技术集成化的测试手段。该产品通过无与伦比的灵活性、完备的业配置选项、直观的软件操作以及硬件配置,带给用户的是先的的实验结果和生产力。强大的Avantage数据系统提供系统控制、数据采集、数据处理与系统运行报告等一站式服务。
先的分析性能
●表面元素定性、定量分析
一流的能量分析器设计和双晶微聚焦单色化X射线源结合,实现了卓越的能量分辨率
●快速高分辨平行成像
化学成像: 空间分辨率优于1um
回溯成谱: 回溯区域优于6um
●无需背底修正探测器
电子倍增器和电阻阳探测器的双探测器设计,可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成 像的需求。
空间连续的电阻阳探测器创新技术,使得XPI成像分辨率达1um,同时所得数据无探测器背底特 征,无需背底校正,直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果。
●微聚焦单色源
分析尺寸在20μm~900μm之间连续可调
卓越的灵敏度和能量分辨率
提供不少于20个靶材工作点,确保仪器终身使用过程中阳靶无需更换
●自动化高效离子剖析源
新型Ar离子团簇与传统单粒子离子源相结合,用于各类材料的深度剖析研究
●高精确度角分辨XPS
软件控制分析位置和角度,确保数据的精确性和重复性
全套的ARXPS数据处理工具,可对纳米尺度的多层结构器件进行层厚计算
●一键式荷电补偿
配有双束电荷中和系统,可以根据实际样品的需要独立控制开启。
适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和
●强大的Avantage分析软件
全数字化仪器控制
系统软件可视化操作
全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库
自定义数据采集到报告生成模式
操作简便
●高度自动化
分析区域和角度分辨可选
自动化气体调节和真空控制
●随时校准
能量标尺和仪器功函数的校准
离子枪定位和离子束聚焦
●鼠标点击式样品导航
实时显示分析位置
高照明强度、强度可调
设计灵活
●ISS、ARXPS与REELS为标准配置
●多功能进样室为标准配置
●UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可选
●可选的样品预处理附件,包括:
样品制备台、晶体清洁器、样品刮片器
样品加热/冷却装置
溅射清洁离子枪
蒸发器
高压反应室