探针卡和微型定位器

TS2000-DP可提供高12倍的高压（高3kV三轴或10kV同轴）或4倍的多手指高电流（高400A的微型定位器）。

其具有的大量单探头，用于防电弧高功率探针卡的的探针卡夹，使得该系统成为高功率设备特性测量的理想选择。

防电弧技术

该系统配备了ArcShield™，可防止卡盘和探针压板之间发生任何可能的电弧。

防电弧探针卡具有在DUT周围施加高压的能力，并且可以使用帕申定律来防止焊盘之间产生电弧。

特别设计的防电弧LiquidTray™只需将其放在高功率卡盘表面即可用于抑制电弧。晶圆可以安全地放置在托盘内，以浸没在液体中进行无电弧高压测试。

此卡盘可在300°C高可达10kV（同轴）。

仪器集成

TS2000-DP可以配置多种仪器连接套件，其中包括必要的高压/大电流探头和电缆附件，以便与测试仪器进行佳连接，例如Keysight B15005（3kV或10kV），包括集成的模块选择器或Keithley 2600-PCT-XB，以及集成的8020高功率接口面板。

软件套件SENTIO^®

MPI自动工程探针系统由独特的、革命性的多点触摸操作控制SENTIO^® 软件套件——简单直观的操作节省了大量的培训时间。“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。

对于RF应用，无需切换到另一个软件平台——MPI RF校准软件程序QAlibria^® 与SENTIO^®完全集成，为了遵循单一操作概念方法而易于使用。