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深圳市科时达电子科技有限公司 主营产品:电子材料,半导体仪器设备,医疗设备三大产品领域的,是一家集研发,制造,为一体的企业我们的主营业务涉及了研发及加工电子材料及周边产品,电子光电产品设备研发组装及,半导体仪器设备,国内贸易,货物及技术进出口,医疗器械研发及,医用耗材及医疗用品的等

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EVG40 NT光刻系统

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号:EVG40 NT 原产地:欧洲 发布时间:2022/3/13 15:52:39更新时间:2024/12/20 7:06:50

产品摘要:

产品完善度: 访问次数:202

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手机网站:http://m.yituig.com/c162928/

商铺地址:http://www.szkesda.com

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详细内容

EVG40 NT(独立工具)和AVM (HVM集成模块)能够测量光刻相关参数,如临界尺寸,以及焊接对正精度。
由于系统的高测量精度,可以验证是否符合严格的过程规范,并立即优化集成的过程参数。
凭借其多样化的测量方法,EVG40 NT可同时适用于大量制造过程,如纳米压印光刻或晶圆到晶圆键合。
作为一个应用示例,EVG40 NT完善了EVG用于高精度对准晶圆焊接的产品系列,作为可靠验证EVG GEMINI FB自动熔融焊接系统100纳米焊接重叠精度的记录工具。

特征

  • 用于光刻和键合计量的通用测量选项
  • 用于粘合和光刻应用的对准验证
  • 适用于多种测量方法的顶底显微镜
  • 临界尺寸(CD)测量
  • 芯片对芯片对准验证
  • 多层厚度测量
  • 垂直和横向测量精度高
  • 由于门的校准程序而具有高处理量
  • 基于PC的测量和模式识别软件具有高的可靠性

 

热门标签:EVG40 NT 光刻系统 

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