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深圳市科时达电子科技有限公司 主营产品:电子材料,半导体仪器设备,医疗设备三大产品领域的,是一家集研发,制造,为一体的企业我们的主营业务涉及了研发及加工电子材料及周边产品,电子光电产品设备研发组装及,半导体仪器设备,国内贸易,货物及技术进出口,医疗器械研发及,医用耗材及医疗用品的等

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EVG105抗蚀处理系统

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号:EVG105 原产地:欧洲 发布时间:2022/3/13 17:06:42更新时间:2024/12/10 14:27:15

产品摘要:

产品完善度: 访问次数:161

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手机网站:http://m.yituig.com/c162928/

商铺地址:http://www.szkesda.com

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详细内容

可以在EVG105烘焙模块上执行软烘焙、曝光后烘焙和硬烘焙过程。受控的烘烤环境确保了均匀的蒸发。可编程接近销提供了抗蚀剂硬化过程和温度曲线的佳控制。EVG105烘焙模块可同时处理多达300毫米的晶圆或多达四个100毫米的晶圆。

特征

  • 独立烘焙模块
  • 高达300毫米的晶圆尺寸或同时多达四个100毫米的晶圆
  • 温度均匀性≤1°C @ 100°C,烘烤温度高达250°C
  • 用于手动和安全晶片装载/卸载的装载销
  • 烘烤定时器
  • 基板真空(直接接触烘烤)
  • N2 吹扫和接近烘烤0-1 mm距离的晶片到加热板可选
  • 不规则形状的基底
EVG105

技术数据

晶片直径(衬底尺寸)
大300毫米
电炉
温度范围:≤250°C
手动调整升降销至所需的接近间隙

热门标签:EVG105 抗蚀处理系统 

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