臭氧机净化，无残留，可杀灭芽孢等。另外，o3对霉菌都有杀灭作用。o3由于稳定性差，很快会自行分为氧气或单个氧原子，而单个氧原子能自行结合成氧分子，不存在有害残留物，所以，o3是一种洁净的的清洁剂。o3为气体，能很快弥漫到整个空间。而传统的洁净方法，无论是紫外线，还是化学熏蒸法，都有工作量大、有残留污染或有异味等缺点，并有可能损害人体健康。如用紫外线清洁，在光线照射不到的地方没有成效，有衰退、穿透力弱、使用时间不长等缺点。当然化学熏蒸法也存在不足之处。